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유도 결합 플라스마

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1. 본문

유도 결합 플라스마(Inductively Coupled Plasma, ICP)는 전자기 유도에 의해 에너지가 공급되는 플라스마의 한 종류입니다. 시변 자기장에 의해 생성되는 전류를 사용하여 플라스마를 생성합니다.
작동 원리:1. 플라스마 생성: 주로 아르곤 가스를 사용하며, 고주파 유도 코일에 의해 생성된 자기장 내에서 아르곤 가스가 이온화되어 플라스마를 형성합니다.

2. 시료 도입: 분석하고자 하는 시료를 액체, 기체, 고체 등 다양한 형태로 플라스마에 도입합니다.

3. 원자화 및 이온화: 플라스마의 높은 온도(6000~10,000K)는 시료를 구성하는 원소들을 원자화하고 이온화시킵니다.

4. 방출/질량 분석:


  • ICP-OES (Optical Emission Spectrometry): 이온화된 원소들이 특정 파장의 빛을 방출하는 현상을 이용합니다. 방출되는 빛의 파장과 강도를 분석하여 시료 내 원소의 종류와 농도를 결정합니다.
  • ICP-MS (Mass Spectrometry): 이온화된 원소들을 질량 대 전하 비율(m/z)에 따라 분리하고 검출합니다. 이를 통해 시료 내 원소의 동위원소 조성까지 분석할 수 있습니다.

응용 분야:ICP는 다음을 포함한 다양한 산업 분야에서 활용됩니다.

  • 환경 모니터링: 물, 토양, 대기 중의 중금속 및 오염 물질 분석
  • 식품 안전: 식품 내 유해 원소 및 영양 성분 분석
  • 지구화학: 암석, 광물, 토양 등의 성분 분석
  • 재료 과학: 금속, 세라믹, 고분자 등의 조성 분석
  • 임상 화학: 혈액, 소변 등 생체 시료 내 원소 분석
  • 제약: 의약품 내 불순물 및 유효 성분 분석

ICP의 장점:

  • 다원소 동시 분석 가능
  • 넓은 농도 범위 분석 가능 (ppt ~ ppb 수준의 극미량 원소 분석 가능)
  • 낮은 검출 한계
  • 높은 감도 및 정확도
  • ICP-MS의 경우 동위원소 분석 가능


유도 결합 플라스마
기본 정보
유도 결합 플라스마 장비의 개략도
유도 결합 플라스마 장비의 개략도
종류플라스마 (이온화된 기체)
적용 분야분석 화학
물질 처리
기타 산업 및 연구 분야
설명
정의전자기 유도를 통해 에너지를 공급받는 플라스마
구성 요소유도 코일
가스
전력 공급 장치
작동 원리코일에 흐르는 고주파 전류가 가스를 이온화하여 플라스마를 생성
특징높은 전자 밀도
높은 가스 온도
화학적으로 비활성
응용 분야
분석 화학유도 결합 플라스마 분광법 (ICP-OES)
유도 결합 플라스마 질량 분석법 (ICP-MS)
물질 처리플라스마 에칭
플라스마 화학 기상 증착 (PECVD)
기타플라스마 디스플레이 패널 (PDP)
플라스마 추진
참고 문헌


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