램리서치 “반도체 깎는 ‘식각’ 장비, 요즘 기술은 이래요” – 바이라인네트워크
램리서치가 반도체 식각 장비 '아카라'를 소개하며, 고대역폭메모리(HBM), 3D 낸드, 3D 디램 등 수직 적층 구조 반도체 수요 증가에 맞춰 깊고 정밀한 식각 기술을 강조했다.
증착은 기체에서 고체로의 상변화를 의미하는 용어이다. 한국어에서는 과거에 '승화'로 통칭되었으나, 최근에는 고체에서 기체로의 변화인 승화와 구분하여 사용된다. 영어에서는 'deposition'으로 표현한다. 증착은 수증기가 얼음으로 변하는 현상, 굴뚝 벽에 그을음이 침착되는 현상 등에서 나타나며, 산업적으로는 증발 증착법과 물리 기상 증착법 등에 활용된다. 증착은 에너지를 방출하는 발열 반응이며, 기체 상태의 물질이 열에너지를 잃으면서 고체 상태로 변하는 현상이다.
증착 | |
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지도 정보 | |
기본 정보 | |
유형 | 상변화 |
설명 | 기체에서 고체로의 상변화 |
반대 과정 | 승화 |
상세 정보 | |
관련 물질 | 눈 서리 |
활용 | 박막 증착 결정 성장 |
같이 보기 | |
관련 주제 | 응축 결정화 박막 증착 기상 결정 성장법 기상 합성 상변이 |
과거 한국어에서는 기체에서 고체로의 변화를 승화로 통칭했으나, 중국어에서는 고체에서 기체로의 변화를 '승화', 기체에서 고체로의 변화를 '응화'로 구분한다. 영어에서는 sublimation영어이 승화를, deposition영어이 기체에서 고체로의 변화를 의미한다.[1]
영하의 공기에서 수증기가 액체를 거치지 않고 바로 얼음으로 변하는 과정이 증착의 한 예시이다. 이것은 지면이나 다른 표면에 서리와 가는서리가 형성되는 방식이다. 잎에 서리가 형성되는 경우도 또 다른 예이다. 증착이 일어나려면 기체에서 열에너지가 제거되어야 한다. 공기가 충분히 차가워지면 잎 주변 공기의 수증기는 고체로 변하기에 충분한 열에너지를 잃는다. 이슬점 이하의 온도일지라도 잠열을 제거할 방법이 없으면 수증기가 자발적으로 응결될 수 없다. 잎이 나타나면 과냉각된 수증기는 즉시 응결되기 시작하지만, 이 시점에서는 이미 어는점을 지났다. 이로 인해 수증기는 직접 고체로 변한다.
증착은 에너지를 방출하는 발열 반응이다. 기체 상태의 물질이 열에너지를 잃으면서 고체 상태로 변한다. 이슬점 이하의 온도에서도 잠열을 제거할 방법이 없으면 수증기가 자발적으로 응결되지 않을 수 있지만, 특정 조건(예: 잎 표면)에서는 과냉각된 수증기가 즉시 응결되어 증착이 일어난다.[1]
한국어에서는 기체에서 고체로의 변화를 가리키는 용어로 승화가 사용되어 왔고, 중국어에서는 고체에서 기체로의 변화를 “승화”, 기체에서 고체로의 변화를 “응화”라고 불러 구분하고 있으며, 영어에서는 sublimation영어이 사용되지만, 기체에서 고체로의 변화를 특히 deposition영어이라고 부르기도 한다.[1] ( 최근 20개의 뉴스만 표기 됩니다. ) 램리서치가 반도체 식각 장비 '아카라'를 소개하며, 고대역폭메모리(HBM), 3D 낸드, 3D 디램 등 수직 적층 구조 반도체 수요 증가에 맞춰 깊고 정밀한 식각 기술을 강조했다.
1980년대부터 일본화학회는 기체에서 고체로의 상전이에 '승화'를 적용하는 것에 의문을 제기했고, 2022년 시행된 새로운 교육과정에서는 '응화'로 기술하고 있다.[1]
3. 증착의 예시
또 다른 예로는 굴뚝 벽에 침착되는 그을음이 있다. 그을음 분자는 뜨겁고 기체 상태로 불에서 올라온다. 그을음 분자가 벽에 닿으면 식어서 액체 상태를 거치지 않고 고체 상태로 변한다. 이 과정은 연소 화학 기상 증착에서 산업적으로 이용된다.[1]
산업용 코팅 공정 중 하나인 증발 증착법은 저압 챔버 내에서 고체 물질을 기체 상태로 가열하여 기체 분자가 챔버 공간을 이동한 후 표적 표면에 고체 상태로 증착시켜 표적 표면에 매끄럽고 얇은 층을 형성하는 방법이다. 분자는 기체에서 고체로 변화하는 과정에서 중간 액체 상태를 거치지 않는다. 다양한 재료의 박막을 다양한 표면에 증착하는 데 사용되는 공정의 한 종류인 물리 기상 증착법도 참조하라.
4. 증착의 특징
증착의 예로는 영하의 공기에서 수증기가 액체를 거치지 않고 바로 얼음으로 변하는 과정이 있다. 이것은 지면이나 다른 표면에 서리와 가는서리가 형성되는 방식이다. 잎에 서리가 형성되는 경우, 공기가 충분히 차가워지면 잎 주변 공기의 수증기는 고체로 변하기에 충분한 열에너지를 잃는다. 잎이 나타나면 과냉각된 수증기는 즉시 응결되기 시작하지만, 이 시점에서는 이미 어는점을 지나 수증기는 직접 고체로 변한다.[1]
또 다른 예로는 굴뚝 벽에 침착되는 그을음이 있다. 그을음 분자는 뜨겁고 기체 상태로 불에서 올라오다가 벽에 닿으면 식어서 액체 상태를 거치지 않고 고체 상태로 변한다. 이 과정은 연소 화학 기상 증착에서 산업적으로 이용된다.[1]
표준압에서 대부분의 화합물과 원소는 온도 변화에 따라 고체, 액체, 기체의 상태 변화 간을 상전이하는 성질을 가지지만, 일부 화합물과 원소는 일정한 압력 하에서 기체와 고체 간을 직접 상전이한다.[1]
종래에는 한국어에서 기체에서 고체로의 변화를 가리키는 용어로 승화가 사용되어 왔고, 중국어에서는 고체에서 기체로의 변화를 “승화”, 기체에서 고체로의 변화를 “응화”라고 불러 구분하고 있으며, 영어에서는 sublimation영어이 사용되지만, 기체에서 고체로의 변화를 특히 deposition영어이라고 부르기도 한다.[1]
1980년대부터 기체에서 고체로의 상전이에 “승화”를 적용하는 것에 의문의 목소리가 있으며, 이에 대해 주석으로 보충하는 교과서가 있었다. 또한, 일본화학회의 제안에 준거하는 형태로 2022년 시행된 새로운 교육과정에서는 “응화”로 기술되어 있다.[1]
5. 관련 연구 및 논의
1980년대부터 기체에서 고체로의 상전이에 “승화”를 적용하는 것에 의문의 목소리가 있었으며, 이에 대해 주석으로 보충하는 교과서가 있었다. 또한, 일본화학회의 제안에 준거하는 형태로 2022년 시행된 새로운 교육과정에서는 “응화”로 기술되어 있다.[1]
관련 사건 타임라인
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