이온 빔

1. 개요

이온 빔은 전하를 띤 입자들의 좁은 흐름으로, 다양한 과학 및 기술 분야에서 활용된다. 이온 빔의 측정 단위는 전류 밀도(mA/cm²)와 에너지(eV)를 사용하며, 이온 빔은 격자형과 격자 없는 형의 이온 소스를 통해 생성된다. 격자형 이온 소스는 직류 또는 고주파 방전을 통해 이온을 생성하고 격자를 사용하여 이온을 가속하며, 격자 없는 이온 소스는 전자의 흐름으로 이온을 생성한다. 이온 빔은 스퍼터링, 이온 빔 식각, 이온 빔 분석, 반도체 제조, 재료 분석, 생물학 연구, 의학에서의 입자선 치료, 우주 기술, 고에너지 물리학 연구 등 다양한 분야에서 활용된다.

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