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액추에이터

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1. 개요

액추에이터는 에너지를 기계적 운동으로 변환하는 장치로, 다양한 종류와 작동 방식을 가진다. 솔레노이드, 유압, 근육 등이 있으며, 전기, 유압, 공압, 열, 자기, 연성 액추에이터 등으로 분류된다. 액추에이터는 기계식, 유압식, 공압식, 전동식, 열, 자기, 연성 액추에이터로 구분되며, 각각의 특성과 장단점을 가지고 있다. 성능 지표는 효율, 속도, 힘, 작동 조건, 내구성이 있으며, 로봇, 자동화 시스템 등 다양한 분야에 응용된다. 대한민국에는 IAI, LINAK, TiMOTION 등 주요 제조사가 있다. 모터의 원형 운동을 직선 운동으로 변환하는 기구도 존재하며, 가상 계측에서 센서와 함께 사용된다.

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액추에이터
기본 정보
종류기계 부품
기능메커니즘을 움직이는 데 사용
메커니즘 작동 원리
작동 방식에너지 (전기, 유압, 공압 등)를 기계적 운동으로 변환
운동 형태선형 운동 (직선 왕복 운동)
회전 운동 (회전 운동)
진동 운동
액추에이터의 종류
유압 액추에이터작동유의 압력으로 구동
공압 액추에이터압축 공기의 압력으로 구동
전기 액추에이터전기의 힘으로 구동
전동기
솔레노이드
압전소자
열 액추에이터열에 의해 구동
수동 액추에이터사람의 힘으로 구동
응용 분야
산업 자동화로봇 공학
제조 공정
항공 우주항공기 제어
우주선 시스템
자동차제동 시스템
스티어링 시스템
의료 기기수술 로봇
보조 장치
기타밸브 제어
정밀 기기

2. 종류

액추에이터는 사용하는 작동 원리(입력·출력하는 에너지)에 따라 다양한 종류가 있다. 크게 전기, 압력, 변환기를 사용하는 방식으로 나눌 수 있다.


  • 전기 계통: 솔레노이드(전자밸브), 전동기, 서보모터
  • 압력 장치: 동력 실린더(유압 실린더, 공압 실린더, 수압 실린더, 전동 실린더)
  • 변환기: 리니어 모터에 의한 왕복 구동 장치 (리니어 액추에이터), 고무 튜브의 가감압에 의한 변형을 이용한 왕복 구동 장치 (러버 액추에이터)

2. 1. 기계식 액추에이터

액추에이터는 기본적으로 에너지를 공급하여 운동을 발생시킨다. 어떤 장치에 탑재할 때는 전기 신호로 제어할 수 있도록 제어 기구에 통합한다. 제어 방식은 사용하는 에너지 종류나 액추에이터 자체 용도에 따라 다양하다. 단순한 개폐기(스위치)나 밸브를 사용하거나, 핸들이나 레버와 같은 조작 부분에 연결하기도 한다. 큰 힘을 내는 액추에이터를 작동시키기 위해 동력 전달 장치 개폐기에 소형 액추에이터를 장착하는 등 다양하게 활용한다.

2. 2. 유압식 액추에이터

유압 액추에이터는 액체(주로 오일)의 압력을 이용하여 피스톤이 중공 원통형 튜브 내에서 선형, 회전 또는 진동 운동을 하도록 하는 장치이다. '단동형' 액추에이터는 유체 압력이 피스톤의 한쪽에만 작용하여 한 방향으로만 힘을 가하며, 반대 방향 운동은 스프링, 중력 등에 의해 이루어진다. '복동형' 액추에이터는 반대쪽 피스톤에 유체 압력을 가하여 복귀 행정을 구동한다.[5]

액체는 거의 압축되지 않으므로 유압 액추에이터는 큰 힘을 낼 수 있지만, 가속도가 제한적이라는 단점이 있다. 유압 액추에이터는 입력 변화에 빠르게 반응하고, 관성이 거의 없으며, 비교적 넓은 작동 범위에서 연속 작동이 가능하고, 큰 에너지 입력 없이도 위치를 유지할 수 있다는 장점도 있다.

랙 앤 피니언 메커니즘의 랙을 움직여 피니언을 회전시키는 데에도 사용될 수 있다. 이러한 방식은 파이프라인 등 산업용 유체 수송 설비의 밸브 작동에 사용된다.[6] 출력 중량비가 높고, 견고하며 내충격성이 우수하다. 2010년대에는 정밀 제어가 가능해지면서 전기식의 아성을 잠식하고 있다.

2. 3. 공압식 액추에이터

공압 액추에이터는 유압 액추에이터와 유사하지만 액체 대신 기체(일반적으로 공기)를 사용한다.[8][9] 유압 액추에이터에 비해 작동 유체의 반환 및 재활용을 위한 파이프가 필요 없어 더 간단하다. 그러나 압축기, 저장조, 필터 및 공기 처리 하위 시스템과 같은 외부 인프라가 필요하므로 전기 및 전기 기계식 액추에이터보다 불편할 수 있다.

초기 증기 기관과 모든 증기 기관차에서 증기압은 공압 액추에이터를 구동하여 왕복 운동을 생성하는 데 사용되었으며, 이는 크랭크축 기구에 의해 회전 운동으로 변환된다. 구조가 간단하고 토크가 크기 때문에 단순한 동작에 사용된다. 이전에는 위치 결정 정밀도가 전동식에 비해 떨어졌지만, 정밀 제어가 가능해지고 있다.[26]

랙 앤 피니언 기구를 통해 밸브를 작동하는 공압 액추에이터.

2. 4. 전동식 액추에이터

전동 밸브 액추에이터가 '''½''' 니들 밸브를 제어하고 있다.


1960년대 이후 여러 액추에이터 기술이 개발되었다. 전동 액추에이터는 파워 일렉트로닉스의 발달에 따라 파워 밀도와 신뢰성이 향상되어 주류가 되었으며, 에너지 효율이 높고 정밀 제어가 가능하다는 특징이 있다. 전동 액추에이터는 다음과 같이 분류할 수 있다.

  • 전기 계통
  • * 솔레노이드(전자밸브)
  • * 전동기, 서보모터
  • 변환기
  • * 리니어 모터에 의한 왕복 구동 장치 (리니어 액추에이터)
  • * 고무 튜브의 가감압에 의한 변형을 이용한 왕복 구동 장치 (러버 액추에이터)

2. 4. 1. 전기기계식 액추에이터

전기기계식 액추에이터(EMA)는 일반적인 (회전형) 전동기의 회전력을 직선 운동으로 변환하는 기계적 수단을 사용한다. 이러한 기계적 수단으로는 톱니벨트 또는 나사(볼 나사, 리드 나사 또는 유성 롤러 나사)가 사용될 수 있다.

전기기계식 액추에이터의 주요 장점은 공압식에 비해 상대적으로 높은 정확도, 긴 수명 주기, 그리고 적은 유지보수(그리스 윤활 필요)이다. 100kN 정도의 상대적으로 높은 힘을 얻을 수 있다.

이러한 액추에이터의 주요 단점은 도달 가능한 속도, 중요한 치수 및 무게이다.

이러한 액추에이터의 주요 응용 분야는 의료기기 및 공장 자동화 분야이다.

2. 4. 2. 전기유압식 액추에이터

전기유압식 액추에이터전동기가 주동력이지만 유압 축압기를 작동시키는 토크를 제공하며, 이는 디젤 엔진/유압 시스템이 중장비에서 일반적으로 사용되는 방식과 거의 같은 방식으로 작동력을 전달한다.[10]

전기에너지는 다회전 밸브 또는 전기 동력 건설 및 굴착 장비와 같은 장비를 작동하는 데 사용된다.[10]

밸브를 통한 유체의 흐름을 제어할 때, 유체 압력이 밸브를 강제로 열지 못하도록 모터 위에 브레이크가 일반적으로 설치된다. 브레이크가 설치되지 않으면, 액추에이터가 밸브를 다시 닫도록 작동되지만, 밸브는 천천히 다시 열린다. 이것은 진동(열림, 닫힘, 열림…)을 일으키고, 결국 모터와 액추에이터가 손상된다.[10]

2. 4. 3. 회전형 액추에이터

전동 회전 액추에이터는 회전 모터를 사용하여 대상 부품을 특정 각도로 회전시킨다.[11] 회전 액추에이터는 최대 360도 회전이 가능하다. 이는 선형 모터와 다른 점인데, 선형 모터는 설정된 거리에 제한되는 반면, 회전 액추에이터는 설정된 토크와 내구성을 유지하면서도 다양한 각도로 설정할 수 있다.

회전 모터는 전기, 유압, 수동의 세 가지 방식으로 구동될 수 있다.[12] 유압 구동 회전 액추에이터는 스카치 요크(Scotch Yoke), 베인(Vane), 랙 앤 피니언(Rack-and-Pinion), 헬리컬(Helical), 전자유압(Electrohydraulic)의 다섯 가지 유형으로 세분화된다. 모든 유형은 각각 고유한 설계와 용도를 가지며, 다양한 각도를 선택할 수 있다.

회전 액추에이터의 응용 분야는 거의 무한하지만, 대부분 유압 장치와 산업 분야에서 사용된다. 회전 액추에이터는 산업용 로봇 팔에서 볼 수 있듯이 로봇 분야에도 사용된다. 기술에서 작업을 수행하기 위한 모션 제어 시스템과 관련된 모든 것은 회전 액추에이터일 가능성이 높다.[12]

2. 4. 4. 선형 액추에이터

선형 전동 액추에이터는 회전 전동기를 잘라서 펼친 것으로 생각할 수 있는 선형 모터를 사용한다. 따라서 회전 운동 대신 길이를 따라 선형 힘을 생성한다. 일반적으로 대안보다 마찰 손실이 적기 때문에 선형 전동 액추에이터는 1억 회 이상의 작동 수명을 가질 수 있다.

선형 모터는 평면 선형 모터(일반형), U자형 선형 모터, 튜브형 선형 모터의 3가지 기본 범주로 나뉜다.

선형 모터 기술은 최고 속도, 제어 및 정확도를 제공하기 때문에 낮은 하중(최대 30kg) 환경에서 최적의 솔루션이다. 공압 방식의 한계로 인해 현재 전동 액추에이터 기술은 특정 산업 분야에 적합한 솔루션이며 시계 제조, 반도체 및 제약 산업과 같은 시장 부문에 성공적으로 도입되었다(전체 응용 분야의 최대 60%).

이 기술에 대한 관심이 증가하는 이유는 다음과 같다.

  • 높은 정밀도(0.1mm 이하)
  • 높은 사이클 속도(분당 100회 이상)
  • 청정하고 엄격하게 규제되는 환경에서의 사용 가능성(공기, 습기 또는 윤활유 누출 금지)
  • 복잡한 작업 상황에서의 프로그래밍 가능한 동작 필요성


선형 모터의 주요 단점은 다음과 같다.

  • 공압 방식 및 기타 전기 기술에 비해 비용이 많이 든다.
  • 크기와 무게가 크기 때문에 표준 기계에 통합하기 어렵다.
  • 공압식 및 전기기계식 액추에이터에 비해 힘 밀도가 낮다.


전자석을 이용한 동력을 사용하는 것을 솔레노이드 액추에이터라고 부른다. 변환기 종류 중 하나로 리니어 액추에이터(리니어 모터에 의한 왕복 구동 장치)가 있다.

2. 5. 열 액추에이터

열에 의해 구동되는 액추에이터는 온도가 증가할 때 대부분의 고체 재료가 나타내는 팽창을 이용한다. 이 원리는 온도조절기의 전기 스위치를 작동하는 데 사용된다. (비전자식) 온도조절기에는 서로 다른 두 종류의 금속으로 된 스트립이 포함되어 있어 가열되면 구부러진다.

열 액추에이터는 형상기억합금의 특성을 이용하기도 한다.[13]

2. 6. 자기 액추에이터

일부 액추에이터는 외부에서 가해지는 자기장에 의해 작동된다. 이러한 액추에이터는 일반적으로 외부 자기장에 의해 자화될 때 서로 강하게 끌어당기는 강자성체로 만들어진 부품을 포함한다. 예를 들어 리드 스위치는 건물 보안 시스템에서 문 개방 센서로 사용될 수 있다.

자기 형상 기억 합금을 사용하는 자기 액추에이터도 있다. 전자석을 이용한 동력을 사용하는 것을 솔레노이드 액추에이터라고 부른다.[29][30]

2. 7. 연성 액추에이터

연성 액추에이터는 기계적, 열적, 자기적, 전기적 자극에 반응하여 형태가 변하는 유연한 재료로 만들어진다. 대부분의 액추에이터가 사용되는 산업 분야가 아닌, 주로 인간의 로봇 공학에 관련된다. 대부분의 액추에이터는 기계적으로 내구성이 있지만, 연성 액추에이터에 비해 적응력이 떨어진다. 연성 액추에이터는 부품을 분해하여 환경에 적응할 수 있기 때문에 주로 인간의 안전과 의료 분야에 적용된다.[14] 이러한 이유로 연성 액추에이터의 구동 에너지는 무해한 특정 고분자 및 액체와 같은 유연한 재료를 사용한다.

기존 연성 액추에이터의 대부분은 마이크로 몰딩,[15] 솔리드 프리폼 제작,[16] 마스크 리소그래피[17] 와 같은 다단계 저수율 공정을 사용하여 제작된다. 그러나 이러한 방법은 수동으로 장치를 제작하고, 후처리/조립을 해야 하며, 제작이 완성될 때까지 오랜 시간이 걸리는 반복 작업이 필요하다. 현재의 제작 공정의 지루하고 시간이 많이 소요되는 측면을 피하기 위해 연구자들은 연성 액추에이터의 효과적인 제작을 위한 적절한 제조 방법을 모색하고 있다. 따라서 3D 프린팅과 같은 신속한 프로토타이핑 방법으로 단일 단계에서 제작할 수 있는 특수 연성 시스템을 사용하여 연성 액추에이터의 설계와 구현 사이의 간극을 줄이고, 공정을 더 빠르고 저렴하며 간단하게 만든다. 또한 모든 액추에이터 구성 요소를 단일 구조에 통합하여 외부 관절, 접착제, 고정 장치를 사용할 필요가 없다.

형상 기억 고분자(SMP) 액추에이터는 우리의 근육과 가장 유사하며, 빛, 전기, 자기, 열, pH 및 수분 변화와 같은 다양한 자극에 반응한다. 피로 및 높은 응답 시간과 같은 몇 가지 결점이 있지만, 스마트 소재의 도입과 첨단 제작 기술을 통한 다양한 재료의 조합을 통해 개선되었다. 3D 프린터의 출현은 저렴하고 빠른 응답 속도를 가진 SMP 액추에이터를 제작하는 새로운 방법을 제시했다. 열, 수분, 전기 입력, 빛 또는 자기장과 같은 외부 자극을 SMP가 받는 과정을 형상 기억 효과(SME)라고 한다. SMP는 낮은 밀도, 높은 변형률 회복, 생체 적합성 및 생분해성과 같은 몇 가지 장점을 가지고 있다.

광중합체 또는 빛 활성 고분자(LAP)는 빛 자극에 의해 활성화되는 또 다른 유형의 SMP이다. LAP 액추에이터는 빛의 주파수 또는 강도 변화만으로 물리적 접촉 없이 즉각적인 반응으로 원격으로 제어할 수 있다.

소프트 로보틱스에서 부드럽고 가벼우며 생체 적합한 연성 액추에이터에 대한 요구는 고유한 컴플라이언스 특성과 근육 긴장을 생성하는 능력 때문에 연구자들이 공압식 연성 액추에이터를 고안하도록 영향을 미쳤다.

유전체 엘라스토머(DE), 이온성 고분자-금속 복합체(IPMC), 이온성 전기 활성 고분자, 폴리전해질 젤 및 젤-금속 복합체와 같은 고분자는 연성 액추에이터로 작동하도록 조정할 수 있는 3D 다층 구조를 형성하는 일반적인 재료이다. EAP 액추에이터는 형태의 변형으로 전기적 여기를 반응하는 3D 프린팅 연성 액추에이터로 분류된다.

3. 역사

산업혁명 이후, 선박이 대형화되면서 인력으로 조종하기 어려워져 유압식 제어 장치가 도입되었고, 건설 기계의 보급에도 유압식 액추에이터가 중요한 역할을 했다. 공압식 액추에이터는 19세기 말부터 철도 차량의 브레이크나 문 개폐 장치 등에 사용되었다.[26] 사출 성형기와 산업용 로봇은 초기에는 유압식이 주류였지만, 1990년대 이후 파워 일렉트로닉스의 발달로 전동식의 출력밀도와 신뢰성이 향상되면서 제어성과 에너지 효율이 뛰어난 전동식이 시장 점유율을 높였다. 그러나 2010년대보스턴 다이내믹스가 다족 보행 로봇에 정밀 유압 제어를 도입하면서 흐름이 바뀌었고, 유압식의 장점이 다시 주목받으면서 로봇에 유압 액추에이터를 도입하는 사례가 늘고 있다.[20][21][22][23][24][25]

4. 성능 지표

액추에이터의 성능 지표에는 속도, 가속도, 힘(또는 각속도, 각가속도, 토크)뿐만 아니라 에너지 효율, 질량, 부피, 작동 조건, 내구성 등이 있다. 액추에이터의 효율은 모든 작동 매커니즘의 유용성을 측정하는 표준으로 쓰인다.

:\varepsilon = \frac{\text{useful work}}{\text{spent energy}}=\frac{\text{output energy}}{\text{input energy}}

힘, 속도, 작동 조건, 내구성에 대한 자세한 내용은 하위 문단을 참고하면 된다.

4. 1. 힘

액추에이터의 힘은 정적 하중과 동적 하중으로 나뉜다. 정적 하중은 액추에이터가 움직이지 않을 때의 힘을 나타내며, 동적 하중은 액추에이터가 움직일 때의 힘을 나타낸다.

4. 2. 속도

액추에이터의 속도는 부하가 없을 때의 속도를 기준으로 고려해야 한다. 부하량이 증가하면 속도는 항상 감소하기 때문이다. 속도 감소율은 힘의 크기와 초기 속도와 직접적인 상관관계를 갖는다.

4. 3. 작동 조건

액추에이터는 일반적으로 표준 IP 코드 등급 시스템을 사용하여 등급이 매겨진다. 위험한 환경에 사용하도록 등급이 매겨진 액추에이터는 개인용 또는 일반 산업용 액추에이터보다 더 높은 IP 등급을 갖는다.

4. 4. 내구성

이는 사용 용도와 품질에 따라 각 제조업체마다 다르다.

5. 응용

공학에서 액추에이터는 운동을 일으키거나 물체를 고정하여 운동을 방지하는 기구로 자주 사용된다.[18] 전기 공학에서 액추에이터는 트랜스듀서의 한 종류이다. 액추에이터는 입력 신호(주로 전기 신호)를 어떤 형태의 운동으로 변환하는 장치이다.

액추에이터는 전동기엔진처럼 물체를 움직이는 구동 장치와 그 동작에 의해 제어를 수행하는 기계, 유압·공압·열·전자기 등 물리적인 장치를 가리킨다. 사용하는 작동 원리(입력·출력하는 에너지)에 따라 다양한 종류가 있다. 신축·굴신·선회와 같은 단순한 운동을 하는 것만을 포함하는 경우와 전동기(모터)나 엔진처럼 동력을 지속적으로 발생시키는 것을 포함하는 경우가 있다.

액추에이터는 기본적으로 에너지를 공급함으로써 운동을 발생시킨다. 어떤 장치에 탑재하는 경우에는 전기적인 신호에 의해 제어할 수 있도록 제어 기구에 통합한다. 제어 방식은 사용하는 에너지의 종류나 액추에이터 자체의 용도에 따라 다양하다. 단순한 개폐기(스위치)나 밸브에 의한 것이 있다. 핸들이나 레버와 같은 조작 부분에 연결된 것도 있다. 큰 힘을 발생시키는 액추에이터를 작동시키기 위해 동력 전달 장치의 개폐기에 장착된 소형 액추에이터 등 다양한 활용 방법이 있다.

로봇관절을 움직이는 등의 용도로 사용된다. 여기에는 에너지를 공급할 때만 수축하고, 에너지를 차단하면 외부 힘에 대해 수동적으로 되는 액추에이터도 많으며, 관절을 움직이는 경우에는 관절을 구부리는 액추에이터와 펴는 액추에이터가 세트로 사용되거나, 한쪽을 스프링탄성으로 대체하는 설계 방식도 있다. 복잡한 경우에는 힘의 합성을 이용하여 여러 개의 액추에이터에서 얻어지는 힘을 이용하여 을 지점으로 하여 복잡한 운동을 하는 경우도 있다.

이러한 복잡한 동작을 요구하는 액추에이터는 제어를 위해 상태를 감지하는 센서와 동시에 통합되어 상태를 감시한다(센싱). 이를 통해 액추에이터에 입력되는 에너지를 조절하여 원하는 대로 움직이지만, 건설 기계와 같이 단순한 경우에는 작업자가 각 관절의 상태를 눈으로 확인하고 조절하기 때문에 이러한 상태 파악을 위한 센서류는 사용되지 않는다.

2000년대에는 제어용 컴퓨터의 고성능화·소형화가 진행되면서 로봇이 더욱 현실적인 장치로 개발되고 있지만, 그 이면에서 액추에이터도 더욱 효율적으로 작동하는 것이 요구되고 있으며, 센싱 기술도 병행하여 센서의 소형화·고정밀화 및 일정한 정보 처리 기능을 갖춘 지능화가 진행되고 있으며, 이것들이 로봇 공학의 전반적인 발전을 촉진하고 있다.

다음은 액추에이터가 사용되는 몇 가지 예시이다.


  • 빗살 톱니 구동기
  • 디지털 마이크로미러 장치
  • 전동기
  • 전기활성 고분자
  • 유압 실린더
  • 압전 액추에이터
  • 플라즈마 액추에이터
  • 공압 액추에이터
  • 스크류 잭
  • 서보 메커니즘
  • 솔레노이드
  • 스테핑 모터
  • 형상기억합금
  • 열 바이모프
  • 유압 액추에이터
  • 트림 액추에이터 (항공기 설계에서)

6. 대한민국 주요 액추에이터 제조사

대한민국의 주요 액추에이터 제조사로는 스마트로보틱스, 케이에스에스 등이 있다.[31]

7. 원형-직선 운동 변환

모터는 주로 원형 운동을 하는 데 사용되지만, 리드 스크류나 이와 비슷한 기구를 사용하여 원형 운동을 직선 운동으로 바꿀 수 있다. 반대로 압전 액추에이터처럼 본래 직선 운동을 하는 액추에이터도 있다. 원형 운동과 직선 운동 사이의 변환은 보통 다음과 같은 몇 가지 간단한 기구를 통해 이루어진다.


  • 나사: 스크류 잭, 볼 스크류, 롤러 스크류 액추에이터는 모두 나사라는 단순 기계의 원리를 이용한다. 액추에이터 너트를 회전시키면 스크류 샤프트가 직선으로 움직인다. 스크류 샤프트를 움직이면 너트가 회전한다.
  • 바퀴와 축: 호이스트, 윈치, 랙 앤 피니언, 체인 드라이브, 벨트 드라이브, 리지드 체인, 리지드 벨트 액추에이터는 바퀴와 축의 원리를 이용한다. 바퀴/축(예: 드럼, 기어, 풀리 또는 샤프트])을 회전시키면 직선 부재(예:

8. 가상 계측

가상 계측에서 액추에이터와 센서는 가상 계측기의 하드웨어 보완 장치이다.

참조

[1] 논문 A Dictionary of Mechanical Engineering http://dx.doi.org/10[...] 2019
[2] 논문 A Dictionary of Electronics and Electrical Engineering http://dx.doi.org/10[...] 2018
[3] 서적 Handbook of Valves and Actuators: Valves Manual International https://books.google[...] Elsevier Science 2021-11-11
[4] 서적 Mechatronics: An Integrated Approach CRC Press
[5] 웹사이트 What's the Difference Between Pneumatic, Hydraulic, and Electrical Actuators? http://machinedesign[...] 2016-04-26
[6] 간행물 The Role of Rack and Pinion Actuators in On-Off & Modulating Controls Valve Manufacturers Association
[7] 웹사이트 Automax SuperNova Series Pneumatic Rack & Pinion Actuators http://www.flowserve[...] Flowserve Corporation 2014-07-07
[8] 웹사이트 What is a Pneumatic Actuator? http://www.tech-faq.[...] 2018-02-20
[9] 웹사이트 Pneumatic Valve Actuators Information - IHS Engineering360 http://www.globalspe[...] 2016-04-26
[10] 뉴스 How does an electric actuator work? http://blog.indelac.[...] 2018-02-20
[11] 웹사이트 What Are the Differences Between Linear and Rotary Actuators? https://roboticstomo[...] 2022-07-13
[12] 웹사이트 Rotary Actuator - an overview https://www.scienced[...] 2022-07-13
[13] 웹사이트 Ultra-compact: Valves with shape memory actuators https://www.gesundhe[...] 2021-03-24
[14] 논문 Soft Actuators for Soft Robotic Applications: A Review 2020-10
[15] 논문 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS)
[16] 논문 Freeform fabrication of ionomeric polymer-metal composite actuators
[17] 논문 Fabrication of electrostatic MEMS microactuator based on X-ray lithography with Pb-based X-ray mask and dry-film-transfer-to-PCB process
[18] 논문 Fabrication of a simple and easy-to-make piezoelectric actuator and its use as phase shifter in digital speckle pattern interferometry 2019
[19] 서적 Mechanisms and Mechanical Devices Sourcebook McGraw-Hill
[20] 뉴스 油圧復活、耐衝撃性でモーターに逆襲 川崎重工・ブリヂストンがロボットに https://xtech.nikkei[...] 日経クロステック 2020-06-01
[21] 논문 油圧による柔軟で機動性の高い多脚ロボットの実現
[22] 논문 タフロボット用油圧アクチュエータ
[23] 논문 電動モータと油圧システムの競演から協演へ 電気学会
[24] 논문 次世代アクチュエータが切り拓く新しいロボティクス
[25] 웹사이트 ロボット向け電油アクチュエータの開発 - 川崎重工 https://www.khi.co.j[...]
[26] 논문 空気圧アクチュエータ https://doi.org/10.7[...] 日本ロボット学会
[27] 논문 液性駆動・制御が可能な生化学式アクチュエータ https://doi.org/10.1[...] 自動制御連合講演会
[28] 논문 生化学反応を利用した化学エネルギー駆動型圧力制御システム https://doi.org/10.2[...] Society of Advanced Science
[29] 논문 磁性流体アクチュエータ https://doi.org/10.7[...] 日本ロボット学会
[30] 논문 磁性流体および磁性エラストマーを用いたソフトアクチュエータの研究 大阪大学
[31] 웹사이트 日本ギア工業バルブアクチュエータ https://www.nippon-g[...] 日本ギア工業株式会社 2024-01-22
[32] 웹인용 보관된 사본 https://www.korean.g[...] 2017-11-14
[33] 웹사이트 http://www.wisegeek.[...]

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