180 nm 공정
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1. 개요
180 nm 공정은 국제반도체기술로드맵에 의해 공식적으로 명명된 반도체 제조 공정으로, 1990년대 후반 상업화되었다. IBM 연구팀이 1988년 CMOS 공정을 사용하여 180 nm 듀얼 게이트 MOSFET을 제작했으며, 1998년 TSMC와 1999년 후지쯔에 의해 상업화되었다. 이 공정은 인텔 펜티엄 III 코퍼마인 프로세서, ATI 라데온 R100 및 RV100, 소니 플레이스테이션 2의 에모션 엔진 및 그래픽스 신디사이저 등 다양한 CPU, GPU 및 기타 부품에 적용되었다. 현재에도 저렴하고 기존 장비 업그레이드가 필요하지 않아, 마이크로프로세서 및 마이크로컨트롤러에 사용되고 있다.
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| 180 nm 공정 | |
|---|---|
| 공정 기술 명칭 | |
| 명칭 | 180 나노미터 공정 |
| 세대 | 180nm |
| 다른 명칭 | 0.18µm |
| 소개 | |
| 시기 | 1999년 |
| 기업 | 인터내셔널 비즈니스 머신 삼성전자 인피니언 테크놀로지스 TSMC |
| 기술적 특징 | |
| 금속 배선층 | 6 ~ 7 |
| 트랜지스터 밀도 | 1.5 ~ 3.5 MTr/mm² |
| 최소 게이트 길이 | 100 nm |
| 제품 | |
| 제품 종류 | 플레이스테이션 2의 Emotion Engine 및 Graphics Synthesizer |
2. 역사
180 nm 값의 기원은 역사적인 것으로, 2~3년마다 70%씩 축소되는 경향을 반영한다. 이 명칭은 국제반도체기술로드맵 (ITRS)에 의해 공식적으로 결정되었다.
이 공정은 193 nm의 파장을 가진 당시의 리소그래피에 사용된 빛보다 짧은 게이트 길이를 사용한 최초의 기술이었다.
2. 1. 상용화
1988년, 이란 엔지니어 비잔 다바리가 이끄는 IBM 연구팀은 CMOS 공정을 사용하여 180nm 듀얼 게이트 MOSFET을 제작했다.[3] 이후 180nm CMOS 공정은 1998년 TSMC에 의해, 그리고 1999년 후지쯔에 의해 상업화되었다.[4][5]이 공정으로 제조된 최초의 CPU 중 일부는 인텔 코퍼마인 계열의 펜티엄 III 프로세서였다.
최근의 마이크로프로세서와 마이크로컨트롤러 (예: PIC)는 이 기술을 사용하고 있는데, 이는 일반적으로 저렴하고 기존 장비의 업그레이드를 필요로 하지 않기 때문이다. 2022년에 구글은 글로벌파운드리스 180nm MCU (마이크로컨트롤러) 공정을 사용하여 다중 프로젝트 웨이퍼에서 오픈 소스 하드웨어 프로젝트를 후원했다.[2]
2. 2. 현재
최근의 마이크로프로세서와 마이크로컨트롤러 (예: PIC)는 180 nm 공정 기술을 사용하고 있는데, 이는 일반적으로 저렴하고 기존 장비의 업그레이드를 필요로 하지 않기 때문이다. 2022년에 구글은 글로벌파운드리스 180nm MCU (마이크로컨트롤러) 공정을 사용하여 다중 프로젝트 웨이퍼에서 오픈 소스 하드웨어 프로젝트를 후원했다.[2]3. 180nm 제조 공정을 적용한 프로세서
180nm 제조 공정을 적용한 프로세서는 다음과 같다.
| 종류 | 제품명 | 출시일 |
|---|---|---|
| CPU | 인텔 펜티엄 III 코퍼마인 | 1999년 10월 |
| 인텔 코퍼마인 E | 1999년 10월 | |
| 닌텐도 게임큐브의 게코 CPU | 2000년 | |
| 소니 플레이스테이션 2의 에모션 엔진 | 2000년 3월[1] | |
| AMD 애슬론 선더버드 | 2000년 6월 | |
| AMD 듀론 스핏파이어 | 2000년 6월 | |
| AMD 듀론 모건 | 2001년 8월 | |
| 인텔 셀러론 윌라멧 | 2002년 5월 | |
| 모토로라 파워PC 7445 및 7455 (아폴로 6) | 2002년 1월 | |
| GPU | ATI 라데온 R100 및 RV100 (라데온 7000) | 2000년 |
| 소니 플레이스테이션 2의 그래픽스 신디사이저 | 2000년 3월[1] |
3. 1. CPU
| 제품명 | 출시일 |
|---|---|
| 인텔 펜티엄 III 코퍼마인 | 1999년 10월 |
| 인텔 코퍼마인 E | 1999년 10월 |
| 닌텐도 게임큐브의 게코 CPU | 2000년 |
| 소니 플레이스테이션 2의 에모션 엔진 및 그래픽스 신디사이저 | 2000년 3월[1] |
| AMD 애슬론 선더버드 | 2000년 6월 |
| AMD 듀론 스핏파이어 | 2000년 6월 |
| AMD 듀론 모건 | 2001년 8월 |
| 인텔 셀러론 윌라멧 | 2002년 5월 |
| 모토로라 파워PC 7445 및 7455 (아폴로 6) | 2002년 1월 |
3. 2. GPU
3. 3. 기타
참조
[1]
뉴스
EMOTION ENGINE AND GRAPHICS SYNTHESIZER USED IN THE CORE OF PLAYSTATION BECOME ONE CHIP
https://www.sie.com/[...]
Sony
2003-04-21
[2]
웹사이트
Google funds open source silicon manufacturing shuttles for GlobalFoundries PDK
https://opensource.g[...]
2022-11-16
[3]
서적
Technical Digest., International Electron Devices Meeting
1988
[4]
웹사이트
0.18-micron Technology
https://www.tsmc.com[...]
TSMC
2019-06-30
[5]
문서
65nm CMOS Process Technology
http://www.fujitsu.c[...]
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