마이크로공학
"오늘의AI위키"의 AI를 통해 더욱 풍부하고 폭넓은 지식 경험을 누리세요.
1. 개요
마이크로공학은 1970년대에 시작되어, 소형화된 전기 회로를 통해 성능 향상, 비용 절감, 생산량 증대를 이끌며 정보 혁명을 가져왔다. 최근에는 전기 장치뿐만 아니라 기계 장치도 소형화하여 센서 및 구동기 제작에 활용되며, 에어백, 잉크젯 프린터 등 다양한 제품에 적용된다. 마이크로공학은 주로 광 리소그래피를 사용하여 제작되며, 집적 회로와 마이크로머시너리 구축에 사용되었으며, 나노기술의 발전에 영향을 미쳤다. 마이크로 기술은 전자공학, 기계, 유체공학 분야의 부품 제작에 활용되며, MEMS 기술은 자동차, 프린팅, 의료 기기, 디스플레이 기술 등 다양한 분야에 응용된다.
더 읽어볼만한 페이지
- 유형별 기술 - 대체기술
대체 기술은 환경 문제와 자원 고갈 해결을 위해 기존 기술을 대체하여 지속 가능한 발전을 가능하게 하는 기술로, 퇴비화, 대체 연료 차량, 생활하수 재이용, 태양광 및 풍력 발전, 재활용 등을 포함한다. - 유형별 기술 - 로테크
로테크는 지속 가능한 발전과 인간 중심주의를 추구하며 자원 고갈과 하이테크 기술의 대안으로 제시된 기술 철학 및 운동으로, 친환경적이고 지역 사회 중심적인 기술을 지향하며 기술 비평가들에게 반 하이테크 운동으로 묘사되기도 한다. - 반도체 제조 - 웨이퍼
웨이퍼는 단결정 실리콘 잉곳을 가공하여 만든 얇고 둥근 반도체 재료 조각으로, 반도체 산업의 핵심 재료이며, 다양한 결정 성장 방법과 가공 과정을 거쳐 생산되고, 현재는 300mm 웨이퍼가 주류이지만 450mm 웨이퍼 개발 경쟁이 진행 중이며, 실리콘 외 다양한 재료가 사용되고, 일본 기업들이 시장을 주도하고 한국 기업들도 경쟁력을 확보하고 있다. - 반도체 제조 - 이온 주입
이온 주입은 원하는 원소를 이온화하여 고체 표면에 주입하는 기술로, 반도체 도핑, 금속 표면 처리 등 다양한 분야에 활용되며, 결정학적 손상, 스퍼터링, 안전 문제 등의 문제점을 야기한다. - 나노기술 - 나노 기술
나노 기술은 분자 수준에서 물질을 다루는 과학 및 공학 기술로, 다양한 접근 방식을 통해 여러 분야에 응용되며 독특한 특성을 나타내지만, 독성, 환경 문제 등 윤리적 고려 사항이 존재한다. - 나노기술 - 그레이 구
그레이 구는 분자 나노기술의 자기 복제 기계가 통제 불능 상태로 증식하여 지구를 파괴할 수 있다는 가설이며, 기술 윤리, 특히 나노기술의 잠재적 위험성을 논의하는 데 중요한 개념으로 활용된다.
2. 마이크로 기술의 발전
1970년대 마이크로전자 회로 기술의 발전은 정보 혁명의 토대를 마련했다. 다수의 미시 트랜지스터를 단일 칩에 집적함으로써 성능과 신뢰성을 높이고 비용을 절감할 수 있게 되었다.
이후 마이크로 기술은 전기 장치를 넘어 기계 장치의 소형화 및 일괄 제작으로 확장되었다. 이는 집적 회로가 전자 분야에 미친 영향과 유사하게 기계 시스템 분야에서도 혁신을 가져올 잠재력을 지녔다. 마이크로 기계 장치는 오늘날 자동차 에어백, 잉크젯 프린터, 혈압 혈압 측정기, 프로젝션 디스플레이 시스템 등 다양한 제품에서 센서와 구동기로 활용되며, 기술의 정밀도는 지속적으로 향상되어 첨단 마이크로 전기 회로의 경우 20nm 이하의 서브마이크로미터 수준에 도달했다.[3]
2. 1. 정보 혁명
1970년경, 과학자들은 다수의 미시 트랜지스터를 단일 칩에 배열함으로써 성능, 기능, 신뢰성을 획기적으로 개선하고 비용을 절감하며 생산량을 늘릴 수 있는 마이크로전자 회로를 구축할 수 있다는 것을 알게 되었다. 이러한 발전은 정보 혁명을 이끌었다.최근에는 과학자들이 전기 장치뿐만 아니라 기계 장치도 소형화하고 배치 제작할 수 있다는 것을 알게 되었으며, 이는 집적 회로 기술이 전기 분야에 제공한 것과 동일한 이점을 기계 분야에 제공할 것으로 기대된다. 오늘날 첨단 시스템과 제품의 '두뇌'는 전자가 제공하지만, 마이크로 기계 장치는 외부 세계와 연결되는 센서와 구동기—눈과 귀, 손과 발—를 제공할 수 있다.
오늘날, 마이크로 기계 장치는 자동차 에어백, 잉크젯 프린터, 혈압 혈압 측정기, 프로젝션 디스플레이 시스템 등 광범위한 제품의 핵심 부품이다. 머지않은 미래에 이러한 장치가 전자 제품만큼이나 널리 보급될 것이 분명해 보인다. 이 공정은 또한 더욱 정밀해졌으며, 20nm 이하에 도달한 첨단 마이크로 전기 회로의 경우에서 입증된 바와 같이 기술의 치수를 서브마이크로미터 범위로 낮추고 있다.[3]
2. 2. MEMS 기술의 등장
1970년경 과학자들은 다수의 미시 트랜지스터를 단일 칩에 집적하여 성능, 기능, 신뢰성을 높이고 비용을 절감하는 마이크로전자 회로 제작 가능성을 발견했다. 이는 정보 혁명의 기반이 되었다. 이후 과학자들은 전기 장치뿐만 아니라 기계 장치도 소형화하고 집적 회로 기술처럼 일괄 제작할 수 있다는 점에 주목했다. 이는 기계 분야에서도 전자 분야와 유사한 혁신을 가져올 잠재력을 보여주었다. 전자기술이 시스템의 '두뇌' 역할을 한다면, 마이크로 기계 장치는 외부 세계와 상호작용하는 센서와 구동기, 즉 '눈, 귀, 손, 발'의 역할을 할 수 있게 된 것이다.
이러한 배경 속에서 1980년대에 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)라는 용어가 등장했다. 이는 칩 기반의 마이크로 전기 모터, 공진기, 기어 등 새롭고 정교한 기계 시스템을 지칭하기 위해 만들어졌다. 오늘날 MEMS는 넓은 의미에서 일괄 공정으로 제작 가능한 기계적 기능을 가진 모든 미세 장치를 의미한다. 예를 들어, 마이크로칩 위에 제작된 미세 기어 배열은 MEMS로 간주되지만, 레이저로 가공된 작은 스텐트나 시계 부품은 일반적으로 MEMS로 분류되지 않는다. 유럽에서는 마이크로 시스템 기술(MST, Micro Systems Technology)이라는 용어를 선호하며, 일본에서는 이를 "마이크로머신"이라고 부르기도 한다. 이 용어들은 약간의 차이는 있지만 종종 혼용되어 사용된다.
MEMS 기술은 기존 기술로는 달성하기 어려웠던 성능과 신뢰성을 제공하며 다양한 중요 응용 분야에서 큰 관심을 받았다. 모든 것이 더 작고, 빠르고, 저렴해져야 하는 시대적 요구에 MEMS는 매력적인 해결책을 제시했다. 이미 자동차 에어백용 가속도계, 잉크젯 프린터, 혈압 혈압 측정기, 프로젝션 디스플레이 시스템 등 광범위한 제품에서 핵심 부품으로 사용되고 있다.[3] MEMS 산업은 빠르게 성장하여 수십억 달러 규모의 시장을 형성했으며, 21세기의 주요 산업 중 하나로 자리 잡을 것으로 예상되었다. 예를 들어, Cahners In-Stat Group은 MEMS 시장 규모가 2005년까지 120억달러에 달할 것으로 예측하기도 했다.
마이크로 기술, 특히 MEMS 제작에는 주로 광 리소그래피 방식이 사용된다. 이는 빛을 마스크(회로 패턴이 그려진 판)를 통해 감광성 화학 물질이 도포된 표면에 조사하는 기술이다. 빛을 받은 부분의 화학 물질은 굳게 되고, 노출되지 않은 부드러운 부분은 씻어낸다. 이후 산 등을 이용해 보호막 없이 노출된 물질을 선택적으로 제거(에칭)하여 미세 구조를 형성한다.
마이크로 기술의 가장 대표적인 성공 사례는 집적 회로이며, 이는 마이크로머시너리 제작에도 활용되었다. 마이크로 기술을 더욱 소형화하려는 연구 과정에서, 특히 새로운 현미경 기술의 발명에 힘입어 1980년대에는 나노기술이 등장하게 되었다.[4] 나노기술은 1nm~100nm 크기의 재료와 구조를 다루는 분야이다.[4]
2. 3. MEMS 공정 기술
MEMS라는 용어는 1980년대에 마이크로 전기 모터, 공진기, 기어 등 칩 기반의 새롭고 정교한 기계 시스템을 설명하기 위해 처음 사용되었다. 오늘날 MEMS는 일괄 공정으로 제작할 수 있는 기계적 기능을 가진 모든 미세 장치를 가리키는 말로 쓰인다. 예를 들어, 마이크로칩 위에 제작된 미세 기어 배열은 MEMS 장치로 간주되지만, 레이저로 가공된 작은 스텐트나 시계 부품 등은 해당하지 않는다. 유럽에서는 마이크로 시스템 기술(MST)이라는 용어를 선호하며, 일본에서는 MEMS를 단순히 "마이크로머신"이라고 부르기도 한다. 이러한 용어 차이는 비교적 크지 않아 서로 바꿔 사용되는 경우가 많다.
MEMS 공정 기술은 일반적으로 표면 가공, 벌크 가공, LIGA, EFAB 등 여러 범주로 나눌 수 있지만, 실제로는 수천 가지가 넘는 다양한 MEMS 공정이 존재한다. 어떤 공정은 비교적 단순한 기하학적 구조를 만드는 반면, 다른 공정들은 더 복잡한 3차원 구조를 만들 수 있어 활용도가 높다. 예를 들어, 에어백용 가속도계를 만드는 회사와 관성 항법용 가속도계를 생산하는 회사는 서로 완전히 다른 설계와 공정을 필요로 한다. 가속도계에서 자이로스코프와 같은 다른 관성 장치로 바꾸려면 설계와 공정에서 훨씬 더 큰 변화가 필요하며, 때로는 완전히 다른 제작 시설과 엔지니어링 팀이 필요할 수도 있다.
마이크로 기술은 주로 광 리소그래피를 사용하여 제작된다. 이 방식은 빛의 파동을 마스크를 통해 표면에 집중시켜 특정 화학 필름을 굳히는 원리를 이용한다. 빛에 노출되지 않아 굳지 않은 필름 부분은 씻어내고, 이후 산을 이용하여 보호막 없이 노출된 물질을 부식시켜 원하는 구조를 만든다.
마이크로 기술을 더욱 소형화하려는 연구 과정에서, 특히 새로운 현미경 기술의 발명 이후 나노기술이 1980년대에 등장했다.[4] 이러한 기술들은 1nm~100nm 크기의 재료와 구조를 생산하는 것을 목표로 한다.[4] MEMS 기술은 기존 기술로는 달성하기 어려웠던 성능과 신뢰성을 제공하며, 모든 것이 더 작고, 빠르고, 저렴해야 하는 시대적 요구에 부응하는 매력적인 해결책으로 주목받고 있다.[3]
3. 마이크로 단계에서 만들어지는 품목
마이크로공학 기술, 특히 광 리소그래피와 같은 방법을 사용하여 1 마이크로미터 수준의 매우 작은 품목들을 제작할 수 있다. 광 리소그래피는 빛의 파동을 마스크(mask)를 통해 표면에 집중시켜 화학 필름의 특정 부분을 굳히는 방식으로 작동한다. 이후 노출되지 않아 굳지 않은 필름 부분을 씻어내고, 산 등을 이용해 보호되지 않은 물질을 식각(에칭)하여 원하는 구조를 만든다.
이러한 마이크로 기술의 가장 잘 알려진 성공 사례는 집적 회로(IC)이다. 또한, 초소형 기계 장치인 마이크로머시너리를 만드는 데에도 활용된다. 특히 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)라는 용어는 1980년대에 마이크로 전기 모터, 공진기, 기어 등과 같은 칩 기반의 새롭고 정교한 기계 시스템을 설명하기 위해 만들어졌다. 오늘날 MEMS는 일반적으로 일괄 공정(batch processing)으로 제작 가능한 기계적 기능을 가진 모든 미세 장치를 포괄하는 용어로 사용된다. 예를 들어, 마이크로칩 위에 제작된 미세 기어 배열은 MEMS 장치로 간주되지만, 레이저로 가공된 작은 스텐트나 시계 부품 등은 일반적으로 MEMS로 분류되지 않는다. MEMS 기술은 자동차의 에어백용 가속도계나 잉크젯 프린터 헤드와 같은 특정 응용 분야에 큰 영향을 미쳤으며, 기존 기술로는 달성하기 어려웠던 성능과 신뢰성을 제공하며 중요한 산업 분야로 성장하고 있다.
마이크로 기술을 통해 제작되는 주요 품목들은 다음과 같은 분야로 나눌 수 있으며, 각 분야의 구체적인 부품 예시는 하위 섹션에서 자세히 다룬다.
한편, 마이크로 기술을 더욱 소형화하려는 연구는 1980년대 이후 새로운 현미경 기술의 발명과 함께 나노기술의 발전으로 이어졌으며, 이는 1~100 nm 크기의 재료와 구조를 다루는 분야이다.[4]
3. 1. 전자공학 부품
마이크로공학 기술, 특히 광 리소그래피를 이용하여 1 마이크로미터 크기 수준으로 제작될 수 있는 대표적인 전자공학 부품들은 다음과 같다.3. 2. 기계 부품
마이크로공학 기술, 특히 광 리소그래피와 같은 공정을 통해 마이크로미터 수준의 매우 작은 기계 부품들을 제작할 수 있다. 이러한 초소형 기계 부품들은 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)의 핵심 구성 요소로 활용된다.[4] 포토리소그래피를 사용하여 1 마이크로미터 크기로 제작될 수 있는 대표적인 기계 부품들은 다음과 같다.3. 3. 유체공학 부품
4. MEMS 기술의 응용 분야
MEMS 기술은 전기 장치뿐만 아니라 기계 장치의 소형화와 대량 생산(배치 제작)을 가능하게 함으로써, 집적 회로 기술이 전기 분야에 가져온 혁신과 유사한 영향을 기계 분야에 미칠 것으로 기대된다. 첨단 시스템과 제품에서 전자 부품이 '두뇌' 역할을 한다면, MEMS 기반의 마이크로 기계 장치는 외부 세계와 상호작용하는 센서와 구동기, 즉 시스템의 '눈', '귀', '손', '발'과 같은 역할을 수행할 수 있다.[3]
MEMS라는 용어는 1980년대에 마이크로 모터, 공진기, 기어 등 칩 기반의 새로운 기계 시스템을 설명하기 위해 만들어졌다. 오늘날에는 일괄 공정으로 제작되는 기계적 기능을 가진 모든 미세 장치를 포괄하는 의미로 사용된다. 유럽에서는 마이크로 시스템 기술(MST), 일본에서는 마이크로머신이라는 용어를 사용하기도 하지만, 의미상 큰 차이는 없다.
MEMS 기술은 기존 방식으로는 달성하기 어려웠던 높은 성능과 신뢰성을 제공하며, 모든 것이 더 작고, 빠르고, 저렴해져야 하는 시대적 요구에 부응하는 매력적인 해결책으로 주목받고 있다. 이미 자동차용 센서(예: 에어백 시스템), 잉크젯 프린터 헤드, 의료 기기(예: 혈압 측정기), 프로젝션 디스플레이 시스템 등 광범위한 제품의 핵심 부품으로 사용되며 큰 영향을 미치고 있다.[3]
이러한 중요성 덕분에 MEMS 산업은 이미 수십억 달러 규모의 시장을 형성했으며, 빠르게 성장하여 21세기의 주요 산업 중 하나가 될 것으로 예상된다. 시장 조사 기관인 Cahners In-Stat Group은 MEMS 시장 규모가 2005년까지 120억달러에 달할 것으로 예측하기도 했다.
MEMS 제작 공정은 매우 다양하여, 표면 가공, 벌크 가공, LIGA, EFAB 등 수천 가지 기술이 존재한다. 제작하려는 장치의 종류와 요구되는 성능 수준에 따라 적합한 설계와 공정, 때로는 완전히 다른 제작 시설과 기술팀이 필요하다. 예를 들어, 에어백용 가속도계와 정밀 관성 항법용 가속도계는 서로 다른 설계와 공정을 요구한다.[3] MEMS 기술은 지속적으로 발전하여 서브마이크로미터 수준의 정밀도에 도달하고 있으며,[3] 앞으로 전자 제품만큼이나 우리 생활 속에 널리 보급될 것으로 전망된다.[3]
4. 1. 자동차 산업
마이크로공학 기술은 자동차 산업에서 중요한 역할을 수행하고 있다. 대표적인 예로 자동차 에어백 시스템을 들 수 있는데, 이 시스템의 핵심 부품인 센서는 MEMS 기술을 활용하여 제작된다.[3] MEMS 기술로 만들어진 가속도계는 차량의 충돌과 같은 급격한 속도 변화를 정밀하게 감지하여 에어백을 작동시키는 데 필수적이다.MEMS 기술은 에어백 센서뿐만 아니라 다양한 자동차용 센서 개발에도 적용되어, 기존 기술로는 달성하기 어려웠던 높은 성능과 신뢰성을 제공한다. 이를 통해 자동차의 안전성과 전반적인 성능 향상에 크게 기여하고 있다. 이처럼 마이크로 기계 장치는 첨단 자동차 시스템이 외부 환경 정보를 감지하고(센서 역할) 필요한 기능을 작동시키는(구동기 역할) 데 핵심적인 역할을 담당한다.[3]
4. 2. 프린팅 기술
마이크로 기술 제작에는 주로 광 리소그래피 기법이 활용된다. 이는 빛의 파동을 마스크(패턴이 그려진 판)를 통해 표면에 쬐어 화학 필름의 특정 부분을 굳히는 방식이다. 빛을 받지 않은 부드러운 필름 부분을 씻어낸 후, 산을 이용해 보호막 없이 노출된 물질을 부식시켜 원하는 미세 패턴을 새긴다. 이는 마치 사진을 인화하거나 스텐실로 그림을 찍어내는(printing) 과정과 유사하다.[4]이러한 마이크로 기술의 가장 대표적인 성공 사례는 집적 회로이며, 마이크로머시너리 제작에도 널리 사용된다. 마이크로 기술을 더욱 소형화하려는 연구 과정에서, 특히 새로운 현미경 기술의 발달과 함께 1980년대에는 1~100 나노미터(nm) 크기의 재료와 구조물을 다루는 나노기술이 등장하기도 했다.[4]
MEMS는 1980년대에 등장한 칩 기반의 미세 기계 시스템(마이크로 모터, 공진기, 기어 등)을 지칭하며, 오늘날에는 일괄 공정으로 제작되는 기계적 기능을 가진 모든 미세 장치를 포괄하는 용어로 쓰인다. MEMS 제작 공정에는 여러 종류가 있지만, 광 리소그래피는 MEMS 제작의 핵심 기술 중 하나이다.
MEMS 기술은 다양한 제품에 응용되는데, 특히 잉크젯 프린터의 프린터 헤드에 적용되어 미세한 노즐을 통해 정밀하게 잉크를 분사하는 핵심 역할을 수행한다. 이는 마이크로공학의 프린팅 기술 응용의 대표적인 사례이다. 이 외에도 자동차 에어백 센서, 혈압 혈압 측정기, 프로젝션 디스플레이 시스템 등 다양한 분야에서 활용되고 있다.[3]
4. 3. 의료 기기
마이크로공학 기술은 전기 장치뿐만 아니라 기계 장치의 소형화 및 대량 생산을 가능하게 하여 다양한 분야에 응용되고 있다. 특히 마이크로 기계 장치는 외부 세계와 상호작용하는 센서와 구동기 역할을 수행하며, 여러 첨단 시스템과 제품의 핵심 부품으로 자리 잡았다.의료 기기 분야에서도 마이크로공학 기술은 중요하게 활용된다. 대표적인 예로 혈압을 측정하는 혈압 측정기를 들 수 있는데, 이는 마이크로 기계 장치를 핵심 부품으로 사용한다. 마이크로공학 기술은 지속적으로 발전하여 서브마이크로미터 수준의 정밀도를 달성하고 있으며, 이러한 기술 발전은 향후 의료 기기의 성능 향상과 소형화에 더욱 기여할 것으로 기대된다.[3]
4. 4. 디스플레이 기술
오늘날 마이크로 기계 장치는 자동차 에어백, 잉크젯 프린터, 혈압 혈압 측정기, 프로젝션 디스플레이 시스템 등 광범위한 제품의 핵심 부품이다.[3]4. 5. 기타
1970년경, 과학자들은 다수의 미세 트랜지스터를 하나의 칩에 배열함으로써 성능, 기능, 신뢰성을 획기적으로 개선하고 비용을 절감하며 생산량을 늘릴 수 있는 마이크로전자 회로를 구축할 수 있다는 것을 알게 되었다. 이러한 발전은 정보 혁명을 이끌었다.최근에는 과학자들이 전기 장치뿐만 아니라 기계 장치도 소형화하고 대량 생산(배치 제작)할 수 있다는 점을 발견했으며, 이는 집적 회로 기술이 전기 분야에 제공한 것과 동일한 이점을 기계 분야에도 제공할 것으로 기대된다. 오늘날 첨단 시스템과 제품의 핵심적인 연산 기능은 전자가 제공하지만, 마이크로 기계 장치는 외부 세계와 연결되는 센서와 구동기—마치 사람의 눈과 귀, 손과 발과 같은 역할—를 제공할 수 있다.
현재, 마이크로 기계 장치는 자동차 에어백, 잉크젯 프린터, 혈압 혈압 측정기, 프로젝션 디스플레이 시스템 등 광범위한 제품의 핵심 부품이다. 가까운 미래에 이러한 장치가 전자 제품만큼이나 널리 보급될 것이 분명해 보인다. 이 공정은 또한 더욱 정밀해졌으며, 20nm 이하에 도달한 첨단 마이크로 전기 회로의 경우에서 입증된 바와 같이 기술의 치수를 서브마이크로미터(1 마이크로미터 미만) 범위로 낮추고 있다.[3]
5. 전망
최근 과학자들은 전기 장치뿐만 아니라 기계 장치도 소형화하고 일괄 제작할 수 있음을 발견했다. 이는 집적 회로 기술이 전기 분야에 가져온 것과 같은 혁신을 기계 분야에도 가져올 것으로 기대된다. 마이크로 기계 장치는 첨단 시스템에서 외부 세계와 연결되는 센서와 구동기 역할을 수행할 수 있다.[3]
오늘날 마이크로 기계 장치는 자동차 에어백, 잉크젯 프린터, 혈압 혈압 측정기, 프로젝션 디스플레이 시스템 등 다양한 제품의 핵심 부품으로 사용되고 있다. 가까운 미래에는 이러한 장치가 전자 제품만큼 널리 보급될 것으로 보인다. 기술의 발전으로 20nm 이하의 정밀도를 달성하는 등 서브마이크로미터 수준의 가공이 가능해졌다.[3]
MEMS는 1980년대에 등장한 용어로, 칩 기반의 정교한 기계 시스템을 지칭하며, 현재는 일괄 공정으로 제작되는 모든 미세 기계 장치를 포괄하는 의미로 사용된다(예: 마이크로칩 위의 미세 기어 배열). 유럽에서는 마이크로 시스템 기술(MST), 일본에서는 마이크로머신이라는 용어를 선호하기도 하지만, 의미 차이는 크지 않아 상호 교환적으로 사용된다. MEMS 공정은 표면 가공, 벌크 가공, LIGA, EFAB 등 수천 가지가 존재하며, 응용 분야(예: 에어백용 가속도계와 관성 항법용 가속도계)에 따라 완전히 다른 설계, 공정, 심지어 제작 시설과 엔지니어링 팀이 요구될 수 있다.
MEMS 기술은 기존 기술로는 달성하기 어려웠던 성능과 신뢰성을 제공하며 다양한 중요 응용 분야에서 큰 기대를 모으고 있다. 모든 것이 더 작고, 빠르고, 저렴해야 하는 시대적 요구에 부응하는 MEMS는 매력적인 해결책을 제시한다. 이미 자동차 센서, 잉크젯 프린터 등 특정 분야에서 큰 영향을 미치고 있으며, MEMS 산업은 이미 수십억 달러 규모의 시장으로 성장했다. 21세기의 주요 산업 중 하나로 빠르게 성장할 것으로 예상된다. Cahners In-Stat Group은 MEMS 시장 규모가 2005년까지 120억달러에 달할 것으로 예측했으며, 유럽 NEXUS 그룹은 MEMS를 더 포괄적으로 정의하여 훨씬 더 큰 시장 규모를 전망했다.
마이크로 기술은 주로 광 리소그래피를 이용하여 제작된다. 빛의 파동을 마스크를 통해 화학 필름이 도포된 표면에 집중시켜 특정 부분을 굳힌 뒤, 노출되지 않은 부드러운 부분을 씻어내고 산으로 보호되지 않은 물질을 부식시키는 방식이다. 이러한 마이크로 기술을 더욱 소형화하려는 연구는 1980년대 나노기술의 등장으로 이어졌다.[4] 나노기술은 1-100 nm 크기의 재료와 구조를 다룬다.[4]
참조
[1]
서적
Systems Engineering for Microscale and Nanoscale Technologies
CRC Press
2011
[2]
서적
Exploring Advanced Manufacturing Technologies
Industrial Press Inc.
2003
[3]
서적
Nanotechnology: An Introduction to Nanostructuring Techniques
Wiley-VCH Verlag GmbH & Co.
2007
[4]
서적
Physical Metallurgy and Advanced Materials, Seventh Edition
Elsevier
2007
본 사이트는 AI가 위키백과와 뉴스 기사,정부 간행물,학술 논문등을 바탕으로 정보를 가공하여 제공하는 백과사전형 서비스입니다.
모든 문서는 AI에 의해 자동 생성되며, CC BY-SA 4.0 라이선스에 따라 이용할 수 있습니다.
하지만, 위키백과나 뉴스 기사 자체에 오류, 부정확한 정보, 또는 가짜 뉴스가 포함될 수 있으며, AI는 이러한 내용을 완벽하게 걸러내지 못할 수 있습니다.
따라서 제공되는 정보에 일부 오류나 편향이 있을 수 있으므로, 중요한 정보는 반드시 다른 출처를 통해 교차 검증하시기 바랍니다.
문의하기 : help@durumis.com