다이실레인

1. 개요

다이실레인은 화학식 Si₂H₆를 갖는 무색의 자발성 기체이다. 규소화 마그네슘의 가수분해, 광화학 반응, 실레인의 열분해, Si₂Cl₆의 수소화 알루미늄 리튬 환원, 뮐러-로쇼 공정 등을 통해 합성된다. 다이실레인은 반도체 산업에서 비정질 실리콘 증착, 실리콘 웨이퍼 생산, 그래핀 성장 시 실리콘 증기압 조절 등에 사용된다.

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