이종접합
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1. 개요
이종접합은 서로 다른 반도체 물질을 접합하여 새로운 특성을 구현하는 기술이다. 주로 분자 빔 에피택시(MBE)나 화학기상증착(CVD)과 같은 정밀 박막 증착 기술을 사용하여 제조되며, 최근에는 층상 물질의 기계적 적층 방식도 연구되고 있다. 이종접합은 레이저, 이종접합 바이폴라 트랜지스터(HBT), 고전자이동도 트랜지스터(HEMT), 태양전지, 촉매 등 다양한 분야에 응용된다. 이종접합의 특성은 계면에서의 에너지 띠 정렬에 크게 의존하며, 앤더슨 규칙, 공통 음이온 규칙, Tersoff 모델, 60:40 규칙 등 다양한 모델을 통해 밴드 정렬을 예측한다. 또한 유효 질량 불일치 현상을 이용하여 양자 우물을 제작할 수 있으며, 나노 스케일 이종접합에서는 양자 크기 효과를 활용하여 띠 오프셋을 제어할 수 있다.
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| 이종접합 | |
|---|---|
| 개요 | |
| 종류 | 반도체 접합 |
| 관련 분야 | 반도체 공학, 전자 공학 |
| 정의 | 서로 다른 반도체 물질 간의 접합 |
| 특징 | 에너지 밴드 구조의 불연속성, 전하 수송 특성 변화 |
| 접합 구조 | |
| 유형 | 동종 접합 이종 접합 |
| 이종 접합 | 서로 다른 반도체 물질을 접합한 구조 |
| 동종 접합 | 동일한 반도체 물질의 도핑 농도 차이를 이용한 접합 |
| 접합 방법 | 분자선 에피택시 (MBE) 화학 기상 증착 (CVD) 스퍼터링 원자층 증착 (ALD) |
| 고려 사항 | 격자 상수 불일치 열팽창 계수 불일치 |
| 에너지 밴드 구조 | |
| 불연속 | 전도대 및 가전자대의 불연속 형성 |
| 유형 | 유형 I: straddling gap 유형 II: staggered gap 유형 III: broken gap |
| 에너지 밴드 갭 | 각 반도체 물질의 에너지 밴드 갭 차이 |
| 전하 수송 | |
| 캐리어 축적 | 접합면에서 캐리어 축적 또는 소모 |
| 터널링 | 특정 조건 하에서 전하가 에너지 장벽을 통과 |
| 재결합 | 접합면에서 전자와 정공의 재결합 |
| 응용 | |
| 사용 분야 | 고속 트랜지스터 고효율 태양 전지 발광 다이오드 (LED) 레이저 다이오드 광검출기 양자 우물 양자점 |
| 트랜지스터 | 고전자 이동도 트랜지스터 (HEMT) |
| 태양 전지 | 다중 접합 태양 전지 |
| 발광 다이오드 | 고효율, 다양한 색상 구현 |
| 추가 정보 | |
| 관련 이론 | 에너지 밴드 이론 페르미 준위 쇼트키 장벽 |
| 재료 | 갈륨비소 (GaAs) 인듐인 (InP) 질화갈륨 (GaN) 실리콘 (Si) 게르마늄 (Ge) |
2. 제조 및 응용
이형 접합은 높은 제조 비용에도 불구하고, 그 독특한 특성으로 인해 특수한 응용 분야에서 사용된다.
- 레이저: 1963년 허버트 크뢰머는 이형 구조를 통해 population inversion(반전 분포)이 크게 향상될 수 있다고 제안했다.[20] 갈륨비소와 같은 더 작은 직접 띠틈 물질을 알루미늄 비소(AlAs)와 같은 더 큰 밴드 갭 층 사이에 넣어, 낮은 전류로 실온에서 레이저가 발생할 수 있도록 전하 운반자를 제한할 수 있다. CD 및 DVD 플레이어, 광섬유 송수신기에 사용되는 반도체 다이오드 레이저는 다양한 III-V 및 II-VI 화합물 반도체 층을 교대로 사용하여 레이저 이형 구조를 형성함으로써 제조된다.
- 바이폴라 트랜지스터: 바이폴라 접합 트랜지스터의 베이스-이미터 접합으로 이형 접합을 사용하면 매우 높은 순방향 이득과 낮은 역 이득이 발생한다. 이는 매우 우수한 고주파 동작과 낮은 누설 전류로 이어진다. 이러한 소자를 이종접합 바이폴라 트랜지스터(HBT)라고 한다.
- 전계 효과 트랜지스터: 이형 접합은 상당히 높은 주파수에서 작동할 수 있는 고전자 이동도 트랜지스터(HEMT)에 사용된다. 적절한 도핑 프로파일 및 밴드 정렬은 매우 적은 산란이 발생할 수 있는 도펀트가 없는 영역 내에서 2차원 전자 가스를 생성함으로써 매우 높은 전자 이동도를 발생시킨다.
2. 1. 제조
이형 접합을 제조하기 위해서는 일반적으로 증착 두께를 정밀하게 제어하고 깔끔하게 격자 정합된 계면을 만들기 위해 분자선 에피택시(MBE)[1] 또는 화학 기상 증착(CVD) 기술이 필요하다.최근에는 층상 물질을 반데르발스 이종구조[2]로 기계적으로 적층하는 방법도 연구되고 있다.
2. 2. 응용 분야
이형 접합은 독특한 특성 덕분에 다양한 분야에 응용된다. 높은 제조 비용에도 불구하고, 특수한 기능을 필요로 하는 곳에 널리 사용된다.이종접합은 반도체 레이저, HIT 태양 전지, 이종접합 바이폴라 트랜지스터(HBT), 고전자 이동도 트랜지스터(HEMT), 광촉매 등에 쓰인다.
2. 2. 1. 레이저
1963년, 이 분야의 저명한 과학자인 허버트 크뢰머는 이형 구조를 통해 반전분포를 크게 향상시킬 수 있다고 제안하면서, 레이저에서 이형 접합의 사용을 제안했다.[20] 알루미늄 비소(AlAs)와 같은 더 큰 밴드 갭 층 사이에 갈륨비소와 같은 더 작은 직접 띠틈 물질을 통합함으로써, 전하 운반자는 제한되어 낮은 전류로 실온에서 레이저 발진이 일어날 수 있다. 이형 구조 제작의 재료 과학이 크뢰머의 아이디어를 따라잡는 데 수년이 걸렸지만, 지금은 업계 표준이다. 띠틈은 양자 우물 구조에서의 양자 크기 효과를 이용하여 조절할 수 있다는 것이 나중에 발견되었다. 또한, 이형 구조는 인터페이스에서 발생하는 인덱스 스텝의 도파관으로 사용될 수 있으며, 이는 반도체 레이저 사용 시의 또 다른 주요 장점이다. CD 및 DVD 플레이어와 광섬유 송수신기에 사용되는 반도체 다이오드 레이저는 다양한 III-V 및 II-VI 화합물 반도체 층을 교대로 사용하여 레이저 이형 구조를 형성함으로써 제조된다.2. 2. 2. 바이폴라 트랜지스터 (HBT)
바이폴라 접합 트랜지스터의 베이스-이미터 접합에 이형 접합을 사용하면 매우 높은 순방향 이득과 낮은 역방향 이득을 얻을 수 있다. 이는 매우 우수한 고주파 동작(수십~수백 GHz 값)과 낮은 누설 전류로 이어진다. 이러한 소자를 이종접합 바이폴라 트랜지스터(HBT)라고 한다.[19]2. 2. 3. 전계 효과 트랜지스터 (HEMT)
이형 접합은 고전자 이동도 트랜지스터(HEMT)에 사용되며, 500 GHz 이상의 높은 주파수에서 작동할 수 있다. 적절한 도핑 프로파일과 밴드 정렬을 통해 도펀트가 없는 영역 내에 2차원 전자 가스를 생성하여 매우 적은 산란으로 높은 전자 이동도를 얻을 수 있다.[1]2. 2. 4. 태양 전지
결정질 실리콘 기판(밴드갭 1.1 eV)과 비정질 실리콘 박막(밴드갭 1.7 eV)의 계면을 통해 이종접합이 형성된다.[3] 이종접합은 pn 접합과 유사한 방식으로 전하 캐리어를 분리하는 데 사용된다. 내재 박막을 가진 이종접합(HIT) 태양 전지 구조는 1983년에 처음 개발[4]되어 산요/파나소닉에 의해 상용화되었다. HIT 태양 전지는 현재 26.7%의 변환 효율을 가진 가장 효율적인 단일 접합 실리콘 태양 전지의 기록을 보유하고 있다.[1][5][6]2. 2. 5. 촉매
이종접합은 광촉매로 사용되어 이산화탄소 (CO2) 광환원, 수소 (H2) 생산, 그리고 물 속 오염 물질의 광분해 등에서 단일 금속 산화물보다 더 나은 성능을 보여준다.[8] 산소 공극 삽입, 결정면 엔지니어링, 또는 탄소질 재료 삽입을 통해 이종접합의 성능을 더욱 향상시킬 수 있다.3. 에너지 밴드 정렬
반도체 접합의 특성은 계면에서의 에너지 띠 정렬에 크게 의존한다. 반도체 계면은 그림과 같이 세 가지 유형의 이종접합으로 분류할 수 있다.[9] 접합부에서 멀리 떨어진 곳에서는 밴드 굽힘을 푸아송 방정식을 푸는 일반적인 절차를 기반으로 계산할 수 있다.
띠 정렬을 예측하기 위한 다양한 모델이 존재하며, 띠 오프셋을 측정하는 일반적인 방법은 발광 스펙트럼에서 엑시톤 에너지를 측정하여 계산하는 것이다.[13]
3. 1. 밴드 정렬 유형
반도체 접합의 거동은 계면에서의 에너지 띠 정렬에 크게 의존한다. 반도체 계면은 그림과 같이 세 가지 유형의 헤테로접합으로 분류할 수 있다.[9]
- 스트래들링 갭 (Type I): 두 반도체의 밴드갭이 서로 포함되는 형태.
- 스태거드 갭 (Type II): 두 반도체의 밴드갭이 서로 엇갈리는 형태.
- 브로큰 갭 (Type III): 두 반도체의 밴드갭이 서로 겹치지 않는 형태.
접합부에서 멀리 떨어진 곳에서는 밴드 굽힘을 푸아송 방정식을 푸는 일반적인 절차를 기반으로 계산할 수 있다.
띠 정렬을 예측하기 위한 다양한 모델이 존재한다.
- 앤더슨 규칙: 가장 간단하지만 정확도가 낮은 모델이며, 진공-반도체 계면의 특성(특히 진공 전자 친화도)을 기반으로 띠 정렬을 예측한다. 주요 한계는 화학 결합을 무시한다는 점이다.
- 공통 음이온 규칙: 원자가 띠가 음이온 상태와 관련이 있으므로 같은 음이온을 가진 물질은 원자가 띠 오프셋이 매우 작을 것이라고 추측한다. 그러나 이것은 데이터를 설명하지 못했지만, 서로 다른 음이온을 가진 두 물질은 전도띠 오프셋보다 원자가 띠 오프셋이 더 클 경향이 있다는 추세와 관련이 있다.
- Tersoff[10] 모델: 더 익숙한 금속-반도체 접합을 기반으로 하는 ''갭 상태'' 모델을 제안했는데, 여기서 전도띠 오프셋은 쇼트키 장벽 높이의 차이로 주어진다. 이 모델에는 한 물질의 전도띠에서 다른 물질의 갭으로의 전자 터널링로 인해 발생하는 두 반도체 사이의 계면에 쌍극자 층이 포함된다(금속 유도 갭 상태와 유사하다). 이 모델은 GaAs/AlGaAs와 같이 두 물질 모두 격자 정합이 잘 된 시스템과 잘 일치한다.[11]
- ''60:40 규칙'': 반도체 GaAs와 합금 반도체 Al''x''Ga1−''x''As 사이의 접합의 특정 경우에 대한 휴리스틱이다. Al''x''Ga1−''x''As 쪽의 ''x''가 0에서 1로 변함에 따라 비율은 60/40 값을 유지하는 경향이 있다. 비교를 위해, 앤더슨 규칙은 GaAs/AlAs 접합(''x''=1)에 대해 을 예측한다.[12][13]
띠 오프셋을 측정하는 일반적인 방법은 발광 스펙트럼에서 엑시톤 에너지를 측정하여 계산하는 것이다.[13]
3. 2. 밴드 정렬 예측 모델
밴드 정렬을 예측하기 위한 다양한 모델이 존재한다.
- '''앤더슨 규칙'''은 진공-반도체 계면의 특성(특히 진공 전자 친화도)을 기반으로 띠 정렬을 예측하는 가장 간단하지만 정확도가 낮은 모델이다. 주요 한계는 화학 결합을 무시한다는 점이다.[9]
- '''공통 음이온 규칙'''은 원자가 띠가 음이온 상태와 관련이 있으므로 같은 음이온을 가진 물질은 원자가 띠 오프셋이 매우 작을 것이라고 추측한다. 그러나 이것은 데이터를 설명하지 못했지만, 서로 다른 음이온을 가진 두 물질은 전도띠 오프셋보다 원자가 띠 오프셋이 더 클 경향이 있다는 추세와 관련이 있다.
- '''Tersoff'''[10]는 더 익숙한 금속-반도체 접합을 기반으로 하는 ''갭 상태'' 모델을 제안했는데, 여기서 전도띠 오프셋은 쇼트키 장벽 높이의 차이로 주어진다. 이 모델에는 한 물질의 전도띠에서 다른 물질의 갭으로의 전자 터널링로 인해 발생하는 두 반도체 사이의 계면에 쌍극자 층이 포함된다(금속 유도 갭 상태와 유사하다). 이 모델은 GaAs/AlGaAs와 같이 두 물질 모두 격자 정합이 잘 된 시스템과 잘 일치한다.[11]
- '''60:40 규칙'''은 반도체 GaAs와 합금 반도체 Al''x''Ga1−''x''As 사이의 접합의 특정 경우에 대한 휴리스틱이다. Al''x''Ga1−''x''As 쪽의 ''x''가 0에서 1로 변함에 따라 비율은 60/40 값을 유지하는 경향이 있다. 비교를 위해, 앤더슨 규칙은 GaAs/AlAs 접합(''x''=1)에 대해 을 예측한다.[12][13]
띠 오프셋을 측정하는 일반적인 방법은 발광 스펙트럼에서 엑시톤 에너지를 측정하여 계산하는 것이다.[13]
4. 유효 질량 불일치
이종 접합에서 두 반도체의 유효 질량 차이는 양자 우물의 에너지 준위에 영향을 미친다. 1966년 Conley 등[14]과 BenDaniel 및 Duke[15]는 양자 우물에서의 포락 함수에 대한 경계 조건을 보고했는데, 이는 BenDaniel–Duke 경계 조건으로 알려져 있다. 이들에 따르면, 제작된 양자 우물의 포락 함수는 와 가 모두 계면 영역에서 연속적이라는 경계 조건을 만족해야 한다.
5. 나노 스케일 이형 접합
양자점에서 띠 에너지는 양자 크기 효과 때문에 결정 크기에 따라 달라진다. 이를 통해 나노미터 크기 이종구조에서 띠 오프셋 공학이 가능해진다.[17] 동일한 재료를 사용하더라도, 관련된 결정의 크기나 두께를 변경하여 접합의 유형을, 예를 들어 스트래들링(type I)에서 엇갈린(type II)으로 변경할 수 있다. 가장 일반적인 나노미터 크기 이종구조 시스템은 스트래들링 갭(type I) 오프셋을 갖는 황화아연 위의 셀레늄화카드뮴(CdSe@ZnS)이다. 이 시스템에서 훨씬 더 큰 띠 간격을 가진 ZnS는 표면 불활성화를 통해 형광성 CdSe 코어의 표면을 불활성화하여 양자 효율을 높인다. ZnS 껍질의 더 강한 결합으로 인해 열적 안정성이 증가하는 추가적인 이점도 있으며, 이는 더 큰 띠 간격으로 나타난다. CdSe와 ZnS는 모두 섬아연석 결정 상에서 성장하고 격자 정합이 잘 되어 있으므로 코어 쉘 성장이 선호된다. 다른 시스템이나 다른 성장 조건에서는 비등방성 구조를 성장시킬 수 있다.
이러한 구조에서 전하 이동의 원동력은 전도대 오프셋이다.[18] Robel 등[18]은 TiO2 위에 성장한 CdSe 나노결정의 크기를 줄임으로써, 전자가 더 높은 CdSe 전도대에서 TiO2로 더 빠르게 이동한다는 것을 발견했다. CdSe에서 양자 크기 효과는 가전자대보다 더 작은 유효 질량으로 인해 전도대에서 훨씬 더 두드러지며, 이는 대부분의 반도체에서 마찬가지이다. 따라서 전도대 오프셋 공학은 일반적으로 나노미터 크기 이종접합에서 훨씬 더 쉽다. 엇갈린(type II) 오프셋 나노미터 크기 이종접합의 경우, 광유도 전하 분리가 발생할 수 있는데, 그 이유는 정공에 대한 가장 낮은 에너지 상태가 접합의 한쪽에 있고 전자에 대한 가장 낮은 에너지 상태가 반대쪽에 있기 때문이다. 비등방성 엇갈린 갭(type II) 나노미터 크기 이종접합은 광촉매작용, 특히 태양 에너지를 이용한 물 분해에 사용될 수 있다는 제안이 있다.[18]
6. 결정 성장의 응용 (헤테로에피택시)
결정 성장 기술 중 하나로 에피택시 성장이 있다. 이는 기판 위에 결정을 성장시키는 방법이다. 성장시키는 결정과 동일한 결정의 기판을 제작하는 것이 어려운 경우, 성장시키는 결정과 다른 기판을 사용한다.
참조
[1]
논문
Low-dimensional quantum devices
[2]
저널
Van der Waals heterostructures
[3]
서적
Crystalline Silicon Solar Cells: Heterojunction Cells
http://link.springer[...]
Springer International Publishing
2023-04-18
[4]
저널
Amorphous Si/Polycrystalline Si Stacked Solar Cell Having More Than 12% Conversion Efficiency
[5]
저널
High-efficiency heterojunction crystalline Si solar cells
[6]
웹사이트
HJT - Heterojunction Solar Cells
https://www.solarpow[...]
2022-03-25
[7]
저널
A proposed class of hetero-junction injection lasers
[8]
저널
Interface engineered metal oxide heterojunction nanostructures in photocatalytic CO2 reduction: Progress and prospects
[9]
서적
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https://archive.org/[...]
Oxford University Press
[10]
저널
Theory of semiconductor heterojunctions: The role of quantum dipoles
[11]
서적
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Prentice Hall
[12]
서적
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https://books.google[...]
[13]
저널
Conduction-band offsets in pseudomorphic InxGa1-xAs/Al0.2Ga0.8As quantum wells (0.07≤x≤0.18) measured by deep-level transient spectroscopy
[14]
저널
Electron Tunneling in Metal–Semiconductor Barriers
[15]
저널
Space-Charge Effects on Electron Tunneling
[16]
서적
Introduction to Quantum Mechanics
Prentice Hall
[17]
저널
Type-II Core/Shell CdS/ZnSe Nanocrystals: Synthesis, Electronic Structures, and Spectroscopic Properties
[18]
저널
Size-Dependent Electron Injection from Excited CdSe Quantum Dots into TiO2Nanoparticles
[19]
논문
Low-dimensional quantum devices
[20]
저널
A proposed class of hetero-junction injection lasers
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