엑스선관
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1. 개요
엑스선관은 진공 상태에서 전자를 가속시켜 엑스선을 생성하는 장치이다. 1895년 빌헬름 콘라트 뢴트겐에 의해 엑스선이 처음 발견된 이후, 크룩스관을 시작으로 쿨리지관, 회전 양극관, 미소초점 엑스선관 등 다양한 유형으로 발전해왔다. 엑스선관은 제동 복사 및 특성 X선을 발생시키며, 전압 및 필터를 통해 엑스선 스펙트럼을 조절할 수 있다. 특히 고전압 진공관은 엑스선을 생성할 위험이 있어, 과거에는 TV 등에서 안전 문제가 제기되기도 했다.
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엑스선관 | |
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개요 | |
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유형 | 진공관 |
발명 | 빌헬름 콘라트 뢴트겐 |
발명 연도 | 1895년 |
개발 | 윌리엄 쿨리지 (Coolidge) |
개발 연도 | 1913년 |
설명 | |
기능 | 전기 입력 전력을 X선으로 변환 |
작동 원리 | 가열된 필라멘트에서 방출된 전자를 고전압으로 가속시켜 금속 표적에 충돌시켜 X선을 발생시킴 |
구성 요소 | 진공 유리관 음극 (필라멘트) 양극 (표적) |
특징 | X선 발생 효율이 낮고, 대부분의 에너지는 열로 손실됨 |
용도 | 의료 영상 진단 (X선 촬영, CT 스캔) 산업 비파괴 검사 보안 검색 장비 |
기술 사양 | |
관전압 | 20 kV ~ 150 kV (의료용) |
관전류 | 수 mA ~ 수백 mA (의료용) |
초점 크기 | 0.1 mm ~ 1.2 mm |
타겟 재료 | 텅스텐, 몰리브덴, 로듐 |
냉각 방식 | 오일 냉각, 공랭식, 수랭식 |
추가 정보 | |
안전 | X선은 이온화 방사선이므로 적절한 차폐 및 안전 조치가 필요함 |
관련 기술 | 회전 양극 엑스선관 (Rotating Anode X-ray Tube) 마이크로 포커스 엑스선관 (Microfocus X-ray Tube) 엑스선 발생 장치 (X-ray Generator) |
2. 역사
1895년 11월 8일, 독일 물리학자 빌헬름 콘라트 뢴트겐이 크룩스관을 이용한 실험 중 엑스선을 처음 발견했다.[3] 초기 엑스선관은 크룩스관(냉음극관) 형태로, 관 내부 잔류 가스의 이온화를 통해 전자를 생성했다. 양이온은 튜브의 음극에 충돌하여 전자를 방출하고, 이 전자는 양극으로 가속되어 충돌 시 엑스선을 생성한다.[3]
모든 진공관과 마찬가지로, 엑스선관은 진공 속으로 전자를 방출하는 음극과 전자를 수집하는 양극으로 구성되어 있으며, 이를 통해 관 내에서 빔이라고 불리는 전류가 흐른다. 음극과 양극 사이에는 30~150킬로볼트(kV)의 높은 전압(관전압)이 걸려 전자를 가속시킨다. 엑스선 스펙트럼은 양극 재료와 가속 전압에 따라 달라진다.[4]
크룩스관은 가열된 열음극 필라멘트 대신 관 내의 잔류 공기를 이온화하여 X선을 생성하는 데 필요한 전자를 생성했기 때문에 부분적인 진공 상태였다. 약 10−6 ~ 5×10−8 기압(0.1 ~ 0.005 Pa)의 공기가 채워진 유리 구로 구성되었다. 관의 한쪽 끝에는 알루미늄 음극 판이, 다른 쪽 끝에는 백금 양극 표적이 있었다. 양극 표면은 X선이 관의 측면을 통해 방사되도록 각을 이루었다. 음극은 오목하여 전자가 양극의 작은 (~1 mm) 지점에 집중되어 X선의 점광원에 근사하게 되어 더 선명한 이미지를 얻을 수 있었다. 관에는 세 번째 전극인 대음극이 양극에 연결되어 있었다.
1913년 윌리엄 쿨리지는 열전자 방출을 이용하는 쿨리지관(열음극관)을 발명하였다.[2] 쿨리지관은 텅스텐 필라멘트를 가열하여 전자를 생성하고, 고전압으로 가속된 전자가 양극 타겟에 충돌하여 엑스선을 발생시키는 방식이다.[3]
1980년대 후반, 고속 스위칭 기술이 도입되면서 엑스선 발생 장치의 제어 정밀도가 향상되고, 엑스선 피폭량이 감소하는 등 성능 개선이 이루어졌다.
3. 엑스선관의 물리학
음극에서 나온 전자는 주로 텅스텐, 몰리브덴 또는 구리로 만들어진 양극 재료와 충돌한다. 이 충돌로 인해 양극 재료 내의 다른 전자, 이온, 핵이 가속된다. 생성된 에너지의 약 1%는 엑스선 형태로 방출되며, 이는 주로 전자 빔의 경로에 수직 방향으로 방출된다. 나머지 에너지는 열로 방출된다. 시간이 지나면서 텅스텐은 타겟에서 관 내부 표면(유리 표면 포함)으로 증착된다. 이는 관을 서서히 어둡게 하여 엑스선 빔의 질을 저하시키는 것으로 알려져 있었다. 기화된 텅스텐은 "창" 위의 외피 내부에 응축되어 추가적인 필터 역할을 하며, 관의 열 복사 능력을 감소시킨다.[5] 결국, 텅스텐 침전물이 충분히 전도성을 갖게 되면 높은 전압에서 아크가 발생할 수 있다. 아크는 음극에서 텅스텐 침전물로, 그리고 양극으로 이동한다. 이러한 아크는 엑스선 창 내부 유리에 "균열"을 일으킨다. 시간이 지남에 따라 관은 낮은 전압에서도 불안정해져 교체가 필요하게 된다. 이 시점에서 관 어셈블리("관 헤드"라고도 함)는 엑스선 시스템에서 제거되고 새로운 관 어셈블리로 교체된다.
엑스선 광자를 생성하는 두 가지 효과는 일반적으로 '특성 효과'와 제동 복사 효과 (독일어 ''bremsen''(제동)과 ''Strahlung''(방사선)의 합성어)라고 불린다.[6]
시스템에서 방출되는 광자 에너지 범위는 가해지는 전압을 변경하고 다양한 두께의 알루미늄 필터를 설치하여 조절할 수 있다. 알루미늄 필터는 엑스선 빔 경로에 설치되어 "연성"(soft, 비관통) 방사선을 제거한다. 방출되는 엑스선 광자의 수, 즉 선량은 전류 흐름과 노출 시간을 조절하여 제어한다.
4. 유형
작동을 위해, 몇 킬로볼트에서 최대 100kV에 이르는 직류 전압이 양극과 음극 사이에 가해졌으며, 이는 일반적으로 유도 코일 또는 더 큰 관의 경우 정전기 기계로 생성되었다.
크룩스관은 신뢰성이 낮았다. 시간이 지남에 따라 잔류 공기가 관 벽에 흡수되어 압력이 감소했다. 이로 인해 관의 전압이 증가하여 '더 강한' X선을 생성하다가 결국 관의 작동이 중단되었다. 이를 방지하기 위해 '연화기' 장치가 사용되었다. 주 관의 측면에 부착된 작은 관에는 가열 시 소량의 가스를 방출하여 적절한 압력을 복원하는 운모 슬리브 또는 화학 물질이 들어 있었다.
관의 유리 덮개는 X선이 구조에 영향을 미쳐 사용 중에 검게 변색되었다.
4. 1. 쿨리지관 (열음극관)
쿨리지관(열음극관)에서 전자는 전류에 의해 가열된 텅스텐 필라멘트로부터의 열전자 효과에 의해 생성된다. 필라멘트는 튜브의 음극이다. 고전압 전위는 음극과 양극 사이에 있으며, 전자는 가속된 후 양극에 부딪힌다.
엔드 윈도우 튜브와 사이드 윈도우 튜브, 두 가지 디자인이 있다. 엔드 윈도우 튜브는 일반적으로 X선을 표적을 통과시킬 수 있을 정도로 얇은 "투과 표적"을 가지고 있다(X선은 전자가 이동하는 방향과 같은 방향으로 방출된다). 엔드 윈도우 튜브의 한 흔한 유형에서 필라멘트는 양극 주변에 위치하며("환상" 또는 링 모양), 전자는 곡선 경로를 갖는다(토로이드의 절반).
사이드 윈도우 튜브의 특별한 점은 정전 렌즈가 전자를 양극의 매우 작은 지점에 집중시키는 데 사용된다는 것이다. 양극은 이러한 집중된 전자의 폭격으로 인한 열과 마모를 소산시키도록 특별히 설계되었다. 양극은 전자 전류에 수직에서 1~20도 각도로 정확하게 각을 이루어 전자 전류 방향에 수직으로 방출되는 일부 X선 광자가 탈출하도록 한다. 양극은 일반적으로 텅스텐 또는 몰리브덴으로 만들어진다. 튜브에는 생성된 X선 광자가 탈출하도록 설계된 창이 있다.
쿨리지 튜브의 전력은 일반적으로 0.1~18 kW 범위이다.
4. 2. 회전 양극관
회전 양극은 전자기 유도를 통해 구동되며, 고정자 권선과 회전 금속 실린더(회전자) 내 와전류의 상호작용을 이용한다. 양극은 진공 베어링에 의해 지지된다.[9]
고정 양극관에서는 전자 빔이 충돌하는 초점에서 많은 열이 발생한다. 회전 양극은 전자 빔이 양극의 더 넓은 영역을 훑게 하여 열 부하를 분산시키므로, 고정 양극관에 비해 더 높은 강도의 엑스선 방출이 가능하고 양극 손상도 적다.
회전 양극의 초점 온도는 노출 시 2500°C까지 올라갈 수 있으며, 연속적인 노출 후에는 양극 전체가 1000°C에 도달할 수 있다. 일반적인 양극은 흑연 지지대 위에 몰리브덴 코어를 두고, 그 위에 텅스텐-레늄 합금 타겟을 얹은 구조이다. 레늄은 텅스텐의 연성을 높여 전자 빔 충격에 의한 마모를 줄여준다. 몰리브덴은 타겟에서 발생한 열을 전도하는 역할을 하며, 흑연은 열을 저장하고 양극의 회전 질량을 최소화한다.
4. 3. 미소초점 엑스선관
비파괴 검사 및 3D 마이크로 단층 촬영과 같이 매우 높은 해상도의 이미지가 필요한 경우, 직경 50μm 미만의 매우 작은 초점 크기를 생성할 수 있는 엑스선관이 필요하다. 이러한 튜브를 '''미소초점 엑스선관'''이라고 한다.
미소초점 엑스선관에는 고체 양극 튜브와 금속 제트 양극 튜브의 두 가지 기본 유형이 있다.
'''고체 양극 마이크로 초점 엑스선관'''은 쿨리지 튜브와 원리적으로 매우 유사하지만, 전자 빔을 양극의 매우 작은 지점에 집중할 수 있도록 주의를 기울였다는 중요한 차이점이 있다. 많은 마이크로 초점 엑스선원은 5-20 μm 범위의 초점 지점에서 작동하지만, 극단적인 경우 1 μm 미만의 지점이 생성될 수 있다.
고체 양극 마이크로 초점 엑스선관의 주요 단점은 매우 낮은 작동 전력이다. 양극이 녹는 것을 방지하기 위해 전자 빔 전력 밀도는 최대값보다 낮아야 한다. 이 값은 양극 재료에 따라 0.4-0.8 W/μm 범위 내에 있다.[10] 즉, 10μm 전자 빔 초점을 가진 고체 양극 마이크로 초점원은 4-8 W 범위의 전력으로 작동할 수 있다.
'''금속 분사 양극 마이크로 초점 엑스선관'''에서는 고체 금속 양극이 전자 빔 타겟 역할을 하는 액체 금속 분사로 대체된다. 금속 분사 양극의 장점은 최대 전자 빔 전력 밀도가 상당히 증가한다는 것이다. 다양한 양극 재료(갈륨 및 주석)에 대해 3-6 W/μm 범위의 값이 보고되었다.[11][12] 10μm 전자 빔 초점의 경우 금속 분사 양극 마이크로 초점 엑스선원은 30-60 W에서 작동할 수 있다.
금속 분사 엑스선관의 전력 밀도 수준이 증가함에 따른 주요 이점은 더 작은 초점 지점(예: 5μm)으로 작동하여 이미지 해상도를 높이고, 동시에 전력이 고체 양극 튜브(10μm 초점 지점)보다 높기 때문에 이미지를 더 빠르게 획득할 수 있다는 것이다(15-30 W).
5. 진공관에서 엑스선 생성의 위험성
수천 볼트 이상으로 작동하는 모든 진공관은 원치 않는 부산물로 X선을 생성하여 안전 문제를 야기할 수 있다.[13][14] 전압이 높을수록 결과적인 방사선은 더 침투력이 강해지고 위험도 커진다. 한때 컬러 텔레비전과 컴퓨터 디스플레이에서 흔히 사용되던 CRT 디스플레이는 크기에 따라 3~40 킬로볼트로 작동하므로[15] 가정용 기기 중 가장 큰 문제로 여겨졌다. 역사적으로, 관심은 두꺼운 유리 외피가 차폐를 위해 몇 파운드의 납으로 함침되어 있기 때문에 CRT보다는 초기 TV 내의 고전압(HV) 정류기 및 전압 조정기 튜브에 더 집중되었다.
1960년대 후반에 일부 제너럴 일렉트릭 TV의 HV 공급 회로 고장으로 인해 조정기 튜브에 과도한 전압이 남아 X선을 방출할 수 있다는 사실이 밝혀졌다. 동일한 고장 모드는 루빈 TV의 초기 개정판에서도 관찰되었으며, 이 TV에는 GP-5 전압 조정 튜브가 장착되어 있었다. 해당 모델이 리콜되었고, 이로 인한 스캔들로 인해 이 위험을 규제하는 미국의 기관인 식품의약국(FDA)의 장치 및 방사선 건강 센터는 모든 TV에 고장 시 과도한 전압을 방지하는 회로를 포함하도록 요구했다.[16]
과도한 전압과 관련된 위험은 CRT 외에는 튜브가 없는 모든 반도체 TV의 출현으로 제거되었다. 1969년 이후 FDA는 TV X선 방출량을 시간당 0.5 mR (밀리뢴트겐)로 제한했다. 대형 스크린 텔레비전 기술을 포함한 다른 스크린 기술이 1990년대부터 발전하면서 CRT의 생산이 서서히 중단되었다. LED, LCD 및 OLED와 같은 이러한 다른 기술은 고전압 변압기가 없기 때문에 X선을 생성할 수 없다.[17]
참조
[1]
서적
Modern Diagnostic X-Ray Sources, Technology, Manufacturing, Reliability
Taylor and Francis, CRC Press
[2]
특허
Coolidge
1913-05-09
[3]
논문
William David Coolidge (1873–1975). Biography with special reference to X-ray tubes
https://journals.via[...]
2023-01-17
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웹사이트
X-ray and Elemental-Analysis
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[5]
논문
cf., Half-Value-Layer Increase Owing to Tungsten Buildup in the X-ray Tube: Fact or Fiction
1986-09
[6]
웹사이트
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https://dictionary.o[...]
2024-08-23
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웹사이트
X-Ray Tube Heating and Cooling
http://sprawls.org/p[...]
2019-05-19
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논문
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2007
[13]
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We want you to know about television radiation
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[14]
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sci.electronics.repair FAQ
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Voltage of a Television Picture Tube
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뉴스
When Televisions Were Radioactive
https://www.theatlan[...]
2020-12-11
[17]
웹사이트
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https://www.fda.gov/[...]
2019-02-09
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서적
X線CT―産業・理工学でのトモグラフィー実践活用
共立出版
2019-02-05
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