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진공펌프

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목차

1. 개요

진공 펌프는 기체 분자를 제거하여 진공 상태를 만드는 장치이다. 17세기부터 기술이 발전하여 다양한 유형으로 분류되며, 정변위, 운동량 전달, 포획 방식이 있다. 펌프의 종류에 따라 작동 원리, 펌핑 속도, 도달 가능한 진공도 등이 다르다. 진공 펌프는 반도체, 디스플레이, 의료, 분석 기기 등 다양한 산업 분야에서 광범위하게 사용되며, 진공 탈기, 코팅, 동결 건조 등 다양한 공정에 활용된다.

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진공펌프

2. 역사

진공 펌프 기술은 오랜 시간에 걸쳐 발전해왔다. 그 기원은 고대 폼페이에서도 발견된 흡입 펌프에 있으며,[2] 중세 아랍 기술자 알 자자리와 오스만 제국의 타키 앗딘 등에 의해 개발된 초기 펌프들은 이후 유럽으로 전해졌다.[3][4][5][51][54]

17세기에 들어서면서 펌프 기술은 상당한 진전을 이루었지만, '진공'이라는 개념은 즉각적으로 받아들여지지 않았다. 흡입 펌프가 특정 높이(약 약 10.36m[6]) 이상 물을 끌어올리지 못하는 현상에 대한 갈릴레오 갈릴레이의 연구를 시작으로,[6] 에반젤리스타 토리첼리가 1643년 수은 기압계를 발명하며 수은주 위의 공간이 진공임을 증명하고 대기압의 존재를 설명하면서 중요한 돌파구가 마련되었다. 이후 오토 폰 게리케는 1650년대에 최초의 진공 펌프를 발명하고 마그데부르크 반구 실험으로 진공과 대기압의 힘을 극적으로 보여주었으며,[8] 로버트 보일과 로버트 훅은 펌프 설계를 개선하고 진공의 성질을 연구했다. 18세기 초에는 프란시스 호크스비가 더욱 개선된 펌프를 개발하기도 했다.[9]

19세기 중반, 하인리히 가이슬러가 1855년 수은 변위 펌프를 발명하고,[9] 헤르만 슈프렝겔이 1865년 스프렝겔 펌프를 개발하면서 이전보다 훨씬 높은 수준의 진공 상태를 만들 수 있게 되었다.[9] 이러한 고진공 기술의 발전은 진공관과 전구 등 새로운 기술 개발의 토대가 되었다.[10] 20세기에 들어서는 분자 항력 펌프, 확산 펌프, 터보분자 펌프 등 오늘날 사용되는 다양한 형태의 진공 펌프들이 발명되었다.[9][11][12]

2. 1. 초기 펌프

진공 펌프의 전신은 흡입 펌프였다. 이중 작용 흡입 펌프는 고대 폼페이 유적에서도 발견되었다.[2] 13세기 아랍의 기술자 알 자자리는 물을 끌어올리는 기계의 일부로 이중 작용 흡입 펌프를 설명했으며, 사이펀에서 그리스 화약을 쏘아 올리는 데에도 흡입 펌프가 사용되었다고 기록했다.[3][51] 1551년에는 오스만 제국의 학자 타키 앗딘이 6개의 실린더를 가진 펌프를 발명했는데, 이는 피스톤을 이용해 진공에 가까운 상태를 만들어 물을 빨아들이는 방식이었다.[54] 흡입 펌프는 15세기 무렵 유럽에도 전해졌다.[3][4][5][52][53]

스몰니 여학교 학생인 예카테리나 몰차노바와 진공 펌프, 드미트리 레비츠키, 1776년


17세기에 이르러 펌프 기술은 더욱 발전하여 측정 가능한 진공을 만들 수 있게 되었지만, 당시 사람들은 이것이 진공이라는 사실을 바로 이해하지는 못했다. 다만 흡입 펌프로는 특정 높이 이상 물을 끌어올릴 수 없다는 점은 알려져 있었다. 1635년경 측정된 한계 높이는 약 약 10.36m였다.[6] 다른 기록에는 18 야드로도 언급되는데, 당시 표준 야드 단위가 정립되기 전이라 정확한 미터 환산은 불분명하다.[55] 이 한계는 관개 사업이나 광산 배수, 그리고 분수 건설에 어려움을 주었는데, 특히 토스카나 대공 페르디난도 2세는 이 문제를 해결하기 위해 갈릴레오 갈릴레이에게 조사를 의뢰했다. 갈릴레오는 그의 저서 《두 개의 새로운 과학》(1638)에서 물기둥이 34피트 높이에 도달하면 자체 무게 때문에 부서질 것이라고 잘못 설명했다.[6]

갈릴레오의 문제 제기에 다른 과학자들이 관심을 보였고, 가스파로 베르티는 1639년 로마에서 물을 이용한 최초의 기압계를 만들었다.[7][55] 이 기압계의 수주 위쪽에는 진공 상태가 만들어졌지만, 베르티 자신은 그것을 설명하지 못했다. 결정적인 진전은 갈릴레오의 제자였던 에반젤리스타 토리첼리에 의해 1643년에 이루어졌다. 그는 갈릴레오의 연구를 바탕으로 최초의 수은 기압계를 만들고, 수은주 위쪽의 빈 공간이 바로 진공 상태라는 설득력 있는 주장을 펼쳤다. 또한 그는 수은주의 높이가 대기압이 지탱할 수 있는 최대 무게에 의해 결정되며, 이것이 바로 흡입 펌프가 물을 끌어올릴 수 있는 높이의 한계라고 설명했다. 일부에서는 블레즈 파스칼의 실험이 이 공간이 진공임을 최종적으로 증명했다고 보기도 한다.

1650년(또는 1654년[51]), 오토 폰 게리케는 최초의 진공 펌프를 발명했다.[8] 그는 1654년 유명한 마그데부르크 반구 실험을 통해 공기를 빼낸 두 개의 반구를 여러 마리의 말이 양쪽에서 끌어당겨도 분리되지 않음을 보여주며 대기압의 힘과 진공의 존재를 극적으로 증명했다. 로버트 보일은 게리케의 설계를 더욱 개선하고 진공의 성질에 대한 다양한 실험을 수행했으며, 이 과정에서 로버트 훅이 보일의 공기 펌프 제작을 도왔다.

한편, 1690년 드니 파팽은 실린더에 소량의 물을 넣고 피스톤으로 밀봉한 뒤 가열과 냉각을 반복하여 내부를 진공 상태로 만들 수 있음을 발견했다. 이 원리를 이용하여 토머스 세이버리는 1698년 물을 끌어올리는 펌프를 개발하고 "광부의 친구"라 부르며 광산 배수에 활용했다. 1709년경에는 프란시스 호크스비가 랙 앤 피니언 방식으로 작동하는 2기통 펌프를 개발하여 "수은 1인치 이내의 완벽한 진공"을 만들 수 있다고 주장했으며, 이 설계는 19세기까지 널리 사용되었다.[9]

한동안 진공 기술 연구는 주춤했으나, 1855년 하인리히 가이슬러가 수은을 사용한 펌프를 발명하여 약 10 Pa (0.1 Torr) 수준의 높은 진공도를 달성했다. 이어 1865년에는 헤르만 슈프렝겔이 스프렝겔 펌프를 발명하여 더욱 높은 진공 상태를 만들 수 있게 되었다. 이처럼 높은 수준의 진공 상태에서 전기적 특성을 관찰할 수 있게 되면서 진공 기술에 대한 관심이 다시 높아졌고, 이는 이후 전구와 진공관 개발로 이어지는 중요한 계기가 되었다.

2. 2. 19세기

1892년에 출판된 테슬라의 진공 장치


1855년, 하인리히 가이슬러는 수은 변위 펌프를 발명하여 약 10 Pa (0.1 Torr)라는 기록적인 진공 상태를 만들었다.[9] 이처럼 높은 진공 수준에서 다양한 전기적 특성을 관찰할 수 있게 되자 진공 기술에 대한 과학계의 관심이 다시 높아졌다.[10]

이후 1865년 헤르만 슈프렝겔이 더 높은 진공도를 얻을 수 있는 스프렌겔 펌프를 발명하면서[9] 진공 기술은 더욱 발전했다. 스프렌겔 펌프는 당시 널리 사용되었으며,[9] 이러한 고진공 기술의 발전은 전구와 진공관 개발의 중요한 밑거름이 되었다.

2. 3. 20세기

20세기 초에는 분자 항력 펌프,[9] 확산 펌프,[11] 및 터보분자 펌프를 포함한 다양한 유형의 진공 펌프가 발명되었다.[12]

3. 유형

진공 펌프는 작동 원리, 도달 가능한 진공도, 사용되는 유체(오일 등)의 유무 등 다양한 기준에 따라 분류할 수 있다.[13][14][15]

가장 기본적인 분류는 작동 원리에 따른 것으로, 크게 세 가지 방식으로 나뉜다.[13][14][15]


  • '''정변위 펌프'''(Positive displacement pumpeng): 특정 공간의 부피를 주기적으로 변화시켜 기체를 이동시키는 방식이다. 공간을 넓혀 기체를 빨아들인 후, 공간을 밀폐하고 다시 줄여 기체를 외부로 배출한다. 주로 저진공 영역에서 사용된다.
  • '''운동량 전달 펌프'''(Momentum transfer pumpeng): 분자 펌프라고도 하며, 고속으로 움직이는 입자(예: 오일 증기, 회전 날개)를 이용해 기체 분자에 운동량을 전달하여 펌프 밖으로 밀어내는 방식이다. 주로 고진공 영역에서 높은 배기 속도를 얻기 위해 사용된다.
  • '''포획 펌프'''(Entrapment pumpeng): 기체 가둠식 펌프라고도 하며, 기체 분자를 펌프 내부의 특정 표면에 흡착시키거나 화학적으로 반응시켜 가두는 방식이다. 극저온 펌프, 게터 펌프, 이온 펌프 등이 여기에 속하며, 초고진공 영역에 도달하는 데 사용될 수 있다.[13][14]


또한, 펌프가 작동하는 압력 범위에 따라 분류하기도 한다. 대기압부터 작동 가능한 펌프는 '''저진공 펌프'''(low vacuum pumpeng), 고진공 영역에서 주로 작동하는 펌프는 '''고진공 펌프'''(high vacuum pumpeng)로 나눌 수 있다. 고진공을 얻기 위해서는 보통 두 종류 이상의 펌프를 조합하여 사용한다. 고진공 펌프(주 펌프)가 원활하게 작동하도록 압력을 낮춰주는 역할을 하는 펌프를 '''보조 펌프'''(backing pumpeng)라고 부른다. 보조 펌프는 주 펌프를 작동시키기 전 초기 배기를 담당하기도 하므로 '''예비 배기 펌프'''(roughing pumpeng)라고도 불린다.

펌프 내부에 오일과 같은 작동 유체를 사용하는지 여부에 따라서도 분류된다. 오일을 사용하는 펌프는 '''웨트 펌프'''(wet pumpeng), 오일을 사용하지 않는 펌프는 '''드라이 펌프'''(dry pumpeng)라고 한다. 특히 반도체 공정과 같이 미세한 오염에도 민감한 환경에서는 드라이 펌프의 사용이 중요하다.

어떤 종류의 펌프를 선택할지는 필요한 진공도 수준, 배기해야 하는 기체의 종류, 공정의 특성, 비용 등을 종합적으로 고려하여 결정해야 한다.

3. 1. 정변위 펌프

수동식 물 펌프는 물을 끌어올리기 위해 진공을 생성한다.


'''정변위 펌프'''(Positive displacement pump)는 용기의 부피를 늘려 부분적인 진공을 만드는 방식으로 작동한다. 진공실의 특정 구획을 반복적으로 밀폐하고, 내부 기체를 배출한 뒤, 다시 공간을 팽창시키는 과정을 통해 챔버 내부를 지속적으로 비울 수 있다. 이는 수동식 물 펌프의 기본적인 작동 원리와 같다. 펌프 내부의 메커니즘이 작은 밀폐 공간을 팽창시키면 내부 압력이 대기압보다 낮아진다. 이 압력 차이로 인해 챔버(예: 우물) 안의 유체가 펌프의 작은 공간으로 밀려 들어온다. 이후 이 공간은 챔버와 분리되어 밀봉되고, 외부 대기로 개방되어 다시 원래의 작은 크기로 압축되면서 유체를 배출한다.[13][15]

산업 분야에서는 더 정교한 시스템이 사용되지만, 주기적으로 일정한 부피를 제거하는 기본 원리는 동일하다. 주요 정변위 펌프의 종류는 다음과 같다.[16][17]

  • 회전 베인 펌프: 가장 일반적인 형태이다.
  • 다이어프램 펌프: 오일 오염이 발생하지 않는다.
  • 액체 링 펌프: 먼지에 대한 저항성이 높다.
  • 피스톤 펌프: 작동 중 진공 압력의 변동이 있다.
  • 스크롤 펌프: 건식 펌프 중 가장 높은 속도를 낸다.
  • 스크류 펌프: 약 10 Pa까지 도달 가능하다.
  • 방켈 펌프
  • 외부 베인 펌프
  • 루츠 송풍기: 부스터 펌프라고도 불리며, 펌핑 속도는 매우 높지만 압축비는 낮다.
  • 다단계 루츠 펌프: 여러 단계를 결합하여 높은 펌핑 속도와 개선된 압축비를 제공한다.
  • 토플러 펌프
  • 로브 펌프


일반적으로 고무나 플라스틱으로 밀봉된 피스톤 펌프 시스템의 기저 압력(도달 가능한 최저 압력)은 1~50 kPa 수준이다. 반면, 스크롤 펌프는 새 제품의 경우 10 Pa까지 도달할 수 있으며, 깨끗하고 비어 있는 금속 챔버와 함께 사용되는 회전 베인 오일 펌프는 0.1 Pa 수준의 진공도를 쉽게 달성할 수 있다.

정변위 진공 펌프는 매 사이클마다 동일한 부피의 기체를 이동시키므로, 역류(backstreaming) 현상에 의해 성능이 저하되지 않는 한 이론적으로 펌핑 속도가 일정하게 유지된다.

3. 2. 운동량 전달 펌프

진공 펌프는 기체를 이동시키는 방식에 따라 크게 기체를 흡입하여 배출하는 기체 수송식 펌프와, 기체를 펌프 내부에 가두는 포획 펌프(entrapment (capture) vacuum pump)로 나눌 수 있다.[13][14] 기체 수송식 펌프는 다시 작동 원리에 따라 일정한 부피의 기체를 주기적으로 이동시키는 용적 이동식 펌프(positive displacement pump)와, 기체 분자에 운동량을 전달하여 이동시키는 운동량 수송식 펌프(kinetic vacuum pump)로 분류된다.

운동량 수송식 펌프는 펌프 내부에서 고속으로 움직이는 다른 물질(예: 고속 회전 날개, 증기 분사 등)의 운동 에너지를 이용하여 기체 분자를 흡입구에서 배출구 쪽으로 이동시키는 방식으로 작동한다. 이러한 방식은 주로 고진공 영역에서 높은 배기 속도를 얻기 위해 사용된다.

고진공 영역까지 배기해야 하는 경우, 운동량 수송식 펌프와 같은 고진공 펌프만으로는 대기압 상태에서부터 작동시키기 어렵다. 따라서 고진공 펌프의 배출구 쪽에 대기압부터 작동 가능한 다른 종류의 펌프를 연결하여 사용해야 한다. 이때 고진공 펌프를 주 펌프(main pump)라고 하며, 주 펌프의 배출구 쪽에 연결되어 주 펌프가 작동할 수 있는 압력까지 낮춰주는 펌프를 보조 펌프(backing vacuum pump)라고 부른다. 보조 펌프는 주 펌프를 가동하기 전 초기 배기(예비 배기)를 담당하기도 하므로 예비 배기 펌프(roughing vacuum pump)라고도 불린다.

3. 3. 포획 펌프

포획 펌프는 기체를 흡기측에서 배기측으로 이동시키는 대신, 펌프 내부 표면에 기체 분자를 흡착시키거나 반응시켜 가두는 방식으로 진공을 형성하는 펌프를 말한다. 원본 소스에서는 이를 "기체 가둠식 펌프(entrapment (capture) vacuum pumpeng)"로 분류하기도 한다. 이는 기체를 흡기측에서 배기측으로 수송하는 방식의 기체 수송식 진공 펌프와 구분된다.

포획 펌프는 펌프 내부의 특정 표면을 이용하여 기체 분자를 포획하는 원리를 사용한다. 주요 종류는 다음과 같다.

  • 흡착 펌프
  • 이온 펌프 (예: 스퍼터 이온 펌프)
  • 게터 펌프 (예: 승화 펌프, 비증발형 게터 펌프)
  • 극저온 펌프

3. 4. 기타 유형

재생 펌프는 유체(공기)의 와류 현상을 이용하며, 구조는 원심 펌프와 터보 펌프의 특징을 결합한 형태이다.[18][19] 일반적으로 고정된 중공 홈 내부에서 공기 분자를 순환시키는 로터에 여러 개의 수직 날개가 부착된 구조를 가진다. 이 펌프는 1×10−5 mbar (0.001 Pa)까지 진공도를 높일 수 있으며(Holweck 펌프와 결합 시), 대기압으로 직접 배기가 가능하다. Edwards EPX[18] (기술 논문[19])와 Pfeiffer OnTool™ Booster 150[20] 등이 이러한 재생 펌프의 예시이다. 때로는 사이드 채널 펌프라고도 불린다. 대기압에서 고진공까지 넓은 범위에서 높은 펌핑 속도를 제공하며, 베어링을 배기 측에 설치할 수 있어 오염 발생이 적다는 장점 때문에 반도체 공정의 로드 록(load lock) 등에 활용된다.

다만, 재생 펌프는 대부분의 전력을 대기압 상태의 기체를 배출하는 데 사용하므로, 저압에서 작동하는 터보분자 펌프(100W 미만)에 비해 상대적으로 높은 전력(~1 kW)을 소비한다. 이러한 전력 소비는 작은 보조 펌프를 함께 사용하여 약 10배까지 줄일 수 있다.[21]

어떤 진공 펌프를 사용할지는 요구되는 진공도 수준과 배기하려는 기체의 종류에 따라 달라진다. 진공 펌프는 작동 원리, 사용 압력 범위, 오일 사용 여부 등에 따라 다양하게 분류될 수 있다.

가장 널리 사용되는 진공 펌프는 배기량, 도달 가능한 최종 압력, 가격 등 여러 측면에서 균형 잡힌 성능을 제공하는 유회전식 진공 펌프(로터리 펌프)이다. 가장 저렴한 수동식 펌프는 에어컨 냉매 주입용으로 판매되고 있다. 흡착 장치나 아스피레이터와 같이 낮은 진공도를 필요로 하는 경우에는 저렴한 다이어프램 펌프도 널리 사용된다.

고진공 상태의 챔버 내부에서는 배기 과정뿐만 아니라 진공 펌프 자체에서 발생하는 기체 성분이 진공도에 큰 영향을 미칠 수 있다. 특히 펌프 내부에 오일이나 수분 등이 사용되는 경우, 이 물질들의 증발이 챔버 내 환경에 영향을 줄 수 있다. 미세한 제어가 필수적인 집적 회로 제조 공정, 즉 반도체 공정에서는 아주 적은 양의 증기 혼입도 제품 수율에 영향을 미칠 수 있으므로, 펌프가 오일을 사용하지 않는 드라이 펌프(dry pump)인지, 오일을 사용하는 웨트 펌프(wet pump)인지 여부가 매우 중요한 고려 사항이 된다.

다양한 종류의 진공 펌프는 다음과 같다.

  • 로터리 펌프 (유회전식 진공 펌프, 로터리 베인 펌프, 캠형 유회전 펌프, 드라이 로터리 베인 펌프 포함)
  • 확산 펌프
  • 왕복 피스톤 펌프 (피스톤 펌프, 왕복동식 자유 무밸브 펌프, 왕복동식 슬라이드 밸브 펌프 포함)
  • 증기 이젝터 펌프 (증기 이젝터 포함)
  • 수봉식 펌프 (액봉식 펌프 포함)
  • 흡착 펌프
  • 터보 분자 펌프
  • 이온 펌프 (스퍼터 이온 펌프 포함)
  • 게터 펌프 (승화 펌프, 비증발형 승화 펌프 포함)
  • 극저온 펌프
  • 기계 부스터 펌프
  • 다이어프램 펌프
  • 루츠 펌프 (루츠형 드라이 펌프 포함)
  • 클로형 드라이 펌프
  • 스크류형 드라이 펌프
  • 사이드 채널형 드라이 펌프
  • 스크롤형 드라이 펌프
  • 베인형 드라이 펌프
  • 수 이젝터
  • 아스피레이터
  • 에어 이젝터
  • 분자 드래그 펌프

4. 작동 원리 및 구성

진공 펌프는 크게 세 부분으로 구성된다.


  • 흡기구: 기체를 빨아들이는 입구 역할을 한다. 진공 챔버와 같은 장치에 연결할 때는 보통 진공 플랜지라는 부품을 사용한다. 진공 펌프의 성능을 나타내는 중요한 지표 중 하나인 '배기 속도'는 단위 시간 동안 이 흡기구를 통해 얼마나 많은 양의 기체가 통과하는지를 의미하며, 이는 일본 산업 규격(JIS)에 정의되어 있다.
  • 배기구: 펌프 안으로 들어온 기체를 외부로 내보내는 출구이다. 어떤 종류의 진공 펌프는 이 배기구의 압력이 대기압보다 낮아야만 제대로 작동하기도 한다. 한편, 기체를 내부에 모아두는 방식의 펌프(기체 저장식 펌프)에는 배기구가 없는 경우도 있다. 하지만 기체를 무한정 저장할 수는 없기 때문에, 주기적으로 다른 진공 펌프를 이용해 흡기구를 통해 내부에 쌓인 기체를 빼내야 한다.
  • 펌프: 실제로 기체를 이동시키거나 가두는 작용을 하는 핵심 부분이다. 펌프의 구체적인 작동 방식은 진공 펌프의 종류에 따라 매우 다양하다.

5. 응용 분야

진공 펌프는 다음과 같은 다양한 산업 및 과학 분야에서 활용된다.


  • 진공 탈기기
  • 복합 플라스틱 성형 공정[26]
  • 대부분의 전구, 진공관, CRT 생산 시 내부를 비우거나 특정 가스 또는 가스 혼합물로 다시 채우는 과정[9]
  • 반도체 공정, 특히 광학 리소그래피 과정에서의 이온 주입, 건식 식각 및 PVD, ALD, PECVD, CVD 증착 등[27]
  • 전자 현미경[28]
  • 흡입이 필요한 의료 과정[29]
  • 우라늄 농축[30]
  • 방사선 치료, 방사선 수술, 방사성 약품과 같은 의료 응용 분야[31]
  • 가스, 액체, 고체, 표면 및 생체 물질을 분석하는 분석 기기[32]
  • 질량 분석기에서 이온 소스와 검출기 사이에 고진공 상태를 만드는 역할[33]
  • 유리, 금속, 플라스틱 등에 장식, 내구성 향상, 에너지 절약을 위한 진공 코팅 (예: 저방사 유리, 포뮬러 1 엔진 부품의 경질 코팅, 안과용 코팅, 착유기 및 기타 낙농 장비)[34]
  • 목재나 전기 모터 권선과 같은 다공성 제품의 진공 함침[35][36]
  • 에어컨 서비스 시 냉매를 충전하기 전에 시스템 내부의 모든 오염 물질을 제거하는 과정[37]
  • 쓰레기 압축기[38]
  • 진공 공학 분야[39]
  • 하수도 시스템 (EN1091:1997 표준 참조)[40]
  • 동결 건조[41]
  • 핵융합 연구[42]


오일 재생 및 재정제 분야에서는 오일 탈수를 위해 저진공을, 오일 정제를 위해 고진공을 생성하는 데 진공 펌프가 사용된다.[43]

진공은 기계 장치에 동력을 공급하거나 작동을 보조하는 데에도 사용될 수 있다. 하이브리드 자동차나 디젤 엔진 자동차에서는 엔진(주로 캠축)에 장착된 펌프가 진공을 생성한다. 반면, 가솔린 엔진에서는 일반적으로 엔진 작동 과정에서 발생하는 부작용과 스로틀 플레이트에 의한 흐름 제한으로 진공이 얻어진다. 때로는 제동력 지원을 강화하거나 연료 소비를 개선하기 위해 전기식 진공 펌프가 추가로 사용되기도 한다. 이렇게 생성된 진공은 다음과 같은 자동차 부품에 동력을 공급하는 데 사용될 수 있다:[44]

  • 유압 브레이크용 진공 서보 부스터
  • 환기 시스템의 구역 댐퍼를 움직이는 모터
  • 크루즈 컨트롤 서보 기구의 스로틀 드라이버
  • 도어 잠금 장치 또는 트렁크 해제 장치


항공기에서는 다양한 비행 계기의 자이로스코프에 동력을 공급하기 위해 진공원을 사용하는 경우가 많다. 전기 시스템 고장 시 모든 계측기의 작동이 중단되는 것을 방지하기 위해, 계기판은 일부 계기는 전기로 구동되고 다른 일부 계기는 진공원으로 구동되도록 의도적으로 설계된다.

응용 분야에 따라 진공 펌프는 전기를 사용하거나(전기 구동), 공기압을 사용하거나(공압 구동), 또는 다른 방식으로 동력을 얻어 작동될 수 있다.[45][46][47][48]

참조

[1] 서적 Otto Von Guerickes Neue (Sogenannte) Magdeburger Versuche über den Leeren Raum https://books.google[...] Springer-Verlag
[2] 웹사이트 Pompeii: Technology: Working models: IMSS http://www.imss.fi.i[...]
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