| 정부 | 대수 | 이름 | 임기 | 출신지 | 출신학교 | 비고 |
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| 제1공화국 | 초대 | 강석천(姜錫天) | 1948년 8월 10일 ~ 1948년 10월 25일 | | | 차관보로 직제 변경 임명 |
| 초대 | 강석천(姜錫天) | 1948년 10월 26일[7] ~ 1949년 1월 12일 | | | 4.3 사건에 대한 책임을 지고 사퇴[8] |
| 2대 | 장경근(張璟根) | 1949년 1월 12일 ~ 1949년 4월 10일 | | | |
| 직무대리 | 이해익(李海翼) | 1949년 4월 11일 ~ 1950년 2월 12일 | | | 직제 폐지 |
| 제1공화국 | 3대 | 문봉제(文鳳濟) | 1954년 3월 29일 ~ 1955년 2월 15일 | | | |
| 제1공화국 | 직무대리 | 최병환(崔炳煥) | 1960년 4월 27일 ~ 1950년 2월 12일 | | | 지방국장으로 직무대리[9] |
| 직무대리 | 윤상구(尹相求) | 1960년 5월 11일 ~ 1960년 10월 8일 | | | 지방국장으로 직무대리, 제2공화국 출범 후 유임 |
| 제2공화국 | 직무대리 | 이계순(李啓純) | 1960년 10월 8일 ~ 1961년 5월 20일 | | | 지방국장으로 직무대리, 5.16 군사정변으로 직무정지 및 직제 폐지 |
| 제4공화국 | 직무대리 | 김학중 | 1977년 9월 12일 ~ 1977년 12월 29일 | | | |
| 초대 | 김무연 | 1977년 12월 30일 ~ 1978년 2월 14일 | 경북 안동 | 일본 다쿠쇼쿠대 | 대구시장, 강원도지사, 경상북도지사, 내무부 지방국장 역임 |
| 2대 | 김종호 | 1978년 2월 14일 ~ 1980년 1월 17일 | 충북 괴산 | 서울대 | 충청북도지사, 내무부 차관, 내무부 장관, 제11·12·13·14·15·16대 국회의원, 민주자유당 정책위원회 의장, 국회 부의장 역임 |
직무대리 3대 | 최종호 | 1980년 1월 18일 ~ 1980년 1월 21일 | 경북 칠곡 | 경북대 | 경상남도지사, 부산직할시장, 국가보훈처장, 내무부 기획관리실장 역임 |
| 1980년 1월 22일 ~ 1980년 7월 16일 |
| 직무대리 | 이상희 | 1980년 7월 17일 ~ 1980년 8월 3일 | | | 내무부 지방행정국장, 기획관리실장 역임 |
| 4대 | 정채진 | 1980년 8월 4일 ~ 1981년 6월 17일 | 경북 대구 (현 경북과 분리) | 경북대 | 경상북도지사, 대구직할시장, 산림청장 역임 |
| 5대 | 김태호 | 1981년 6월 18일 ~ 1982년 1월 7일 | 경남 울산 (현 경남과 분리) | 서울대 | 지방행정연수원장, 내무부 장관 역임 |
| 제5공화국 | 초대 | 김형배 | 1982년 1월 ~ 1982년 5월 | | | 강원도지사, 내무부 기획관리실장 역임 |
| 제5공화국 | 2대 | 전석홍 | 1982년 6월 ~ 1984년 10월 | 전남 영암 | 서울대 | 광주시장, 전라남도지사, 국가보훈처장, 내무부 지방재정국장, 내무부 지방행정국장, 제15대 국회의원 역임 |
| 제5공화국 | 3대 | 이상배 | 1984년 10월 ~ 1986년 1월 | 경북 상주 | 서울대 | 경상북도지사, 서울특별시장, 대통령비서실 행정수석비서관, 환경청장, 내무부 차관, 총무처 장관, 정부공직자윤리위원회 위원장, 제15·16·17대 국회의원 역임 |
제5공화국 제6공화국 | 4대 | 홍석표 | 1986년 1월 ~ 1986년 9월 | rowspan=2 | | rowspan=2 | | 전라북도지사, 내무부 기획관리실장 역임 |
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| 제6공화국 | 5대 | 최인기 | 1986년 9월 ~ 1988년 5월 | 전남 나주 | 서울대 | 광주직할시장, 전남도지사, 내무부 차관, 행정자치부 장관, 제17·18대 국회의원 역임 |
| 제6공화국 | 6대 | 박성달 | 1988년 5월 ~ 1989년 1월 | | | 대구직할시장, 청와대 민정비서관 역임 |
| 제6공화국 | 7대 | 이효계 | 1989년 1월 ~ 1990년 6월 | 전남 여수 | 숭실대 | 숭실대 총장, 광주직할시장, 국무총리비서실장, 내무부 기획관리실장, 내무부 차관, 한국토지공사 사장 역임 |
| 제6공화국 | 8대 | 이판석 | 1990년 6월 ~ 1992년 1월 | 경북 칠곡 | | 경상북도지사, 내무부 소방국장, 내무부 기획관리실장, 지방행정연수원장 역임 |
| 제6공화국 | 9대 | 한명환 | 1992년 1월 ~ 1992년 4월 | 경북 예천 | 국민대 (수료) | 대구시 부시장, 경남 부지사, 대구직할시장, 내무부 기획관리실장 역임 |
| 제6공화국 | 10대 | 윤세달 | 1992년 4월 ~ 1993년 3월 | | | 경상남도지사, 경기도지사, 내무부 기획관리실장, 지방행정연수원장 역임 |
| 문민 정부 | 11대 | 임경호 | 1993년 3월 ~ 1994년 3월 | | | 경기도지사, 지방행정연수원장, 지방행정연구원장, 지방의회발전연구원장 역임 |
| 문민 정부 | 12대 | 김기재 | 1994년 3월 ~ 1994년 9월 | 경남 하동 | 고려대 | 부산직할시장, 내무부 기획관리실장, 행정자치부 장관, 지방행정연수원장, 제15·16대 국회의원 역임 |
| 문민 정부 | 13대 | 정태수 | 1994년 9월 ~ 1995년 9월 | 경남 진주 | 부산대 | 지방행정연수원장, 내무부 차관 역임 |
| 문민 정부 | 14대 | 석영철 | 1995년 9월 ~ 1997년 3월 | 충북 제천 | 고려대 | 소방방재청장, 내무부 기획관리실장, 행정자치부 차관, 지방행정연수원장, 대한지방행정공제회 이사장 역임 |
| 문민 정부 | 15대 | 양종석 | 1997년 3월 ~ 1998년 3월 | | | 내무부 기획관리실장 역임 |
| 초대 | 김흥래 | 1998년 3월 ~ 1999년 5월 27일 | 전남 진도 | 단국대 | 내무부 기획관리실장, 행정자치부 차관 역임 |
2대 | 김재영 | 1999년 5월 28일 ~ 2000년 1월 26일 | 경북 대구 (현 경북과 분리) | 연세대 | 행정자치부 차관 역임 |
rowspan=2 | 직무대리 3대 | 조영택 | 2000년 1월 27일 ~ 2000년 2월 7일 | 전남 완도 | 연세대 | 국무조정실장, 행정자치부 인사국장·지방행정국장, 행정자치부 차관, 공무원연금관리공단 이사장, 제18대 국회의원 역임[10] |
| 2000년 2월 8일 ~ 2002년 7월 19일 |
| 4대 | 정채융 | 2002년 7월 ~ 2003년 3월 | 경남 남해 | 부산대 | |
| 직무대리 | 박명재 | 2003년 3월 ~ 2003년 4월 | | | |
| 5대 | 권오룡 | 2003년 4월 2일 ~ 2004년 7월 19일 | 경기 안성 | 고려대 | 대통령비서실 행정비서관, 행정자치부 행정관리국장, 행정자치부 제1차관, 중앙인사위원회 위원장, 지방분권촉진위원회 위원장 역임 |
| 직무대리 | 최양식 | 2004년 7월 20일 ~ 2004년 7월 31일 | | | |
| 6대 | 문원경 | 2004년 8월 1일 ~ 2006년 1월 | 경남 남해 | 서울대 | 소방방재청장, 행정자치부 제2차관, 국가전문행정연수원장, 지방행정연수원장 역임 |
| 7대 | 강병규 | 2007년 8월 24일 ~ 2008년 3월 7일 | 경북 의성 | 서울대 | 행정자치부 감사관, 자치행정국장, 대구시 행정부시장, 행정자치부 지방행정본부장 겸 차관보, 소청심사위원회 위원장, 행정안전부 제2차관, 지방세연구원장 역임 |
| 이명박 정부 | 초대 | 정창섭(鄭昌燮) | 2008년 3월 14일 ~ 2009년 1월 19일 | 서울 | 서울대 | 행정안전부 제1차관&한국지역정보개발원장 |
| 2대 | 백운현(白雲鉉) | 2009년 1월 27일 ~ 2009년 10월 26일 | 경북 성주 | 영남대 | 대통령실 행정자치비서관&행정안전부 지방행정국장&행정안전부 기획조정실장 |
| 3대 | 목영만(睦榮晩) | 2009년 11월 17일 ~ 2010년 9월 8일 | rowspan=2 align="center" | | 고려대 | 행정안전부 지방행정국장&행정안전부 기획조정실장&국가정보원 기획조정실장 |
| 직무대리 | 2009년 10월 27일 ~ 2009년 11월 15일 |
| 4대 | 이종배(李鍾培) | 2010년 9월 27일 ~ 2011년 6월 6일 | 충북 충주 | 고려대 | 행정안전부 제2차관 |
| 5대 | 이삼걸(李參杰) | 2011년 6월 9일 ~ 2011년 9월 6일 | 경북 안동 | 건국대 | 행정안전부 지방재정세제국장&행정안전부 제2차관 |
| 박근혜 정부 | - | 정재근 | 2013년 4월 23일 ~ 2014년 11월 17일 | 충남 논산 | 고려대 | 안전행정부 지방행정실장 |
| 윤석열 정부 | 초대 | 구만섭 | 2023년 9월 4일 ~ 2023년 10월 26일 | 충남 서천 | 국민대 | 제주특별자치도 행정부지사&국가기록원장 |
직무대리 2대 | 김민재 | 2023년 10월 27일 ~ (2023년 11월 30일까지 직무대리) 2023년 12월 1일 ~ | 강원 홍천 | 한양대 | 행정안전부 지방행정정책관&행정안전부 기획조정실장 |